[发明专利]支承轴、磁盘用玻璃基板的端面研磨方法、及磁盘用玻璃基板的制造方法在审

专利信息
申请号: 201280072150.2 申请日: 2012-12-13
公开(公告)号: CN104205218A 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 大塚晴彦 申请(专利权)人: 旭硝子株式会社
主分类号: G11B5/84 分类号: G11B5/84;C03C19/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 高培培;车文
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 支承 磁盘 玻璃 端面 研磨 方法 制造
【权利要求书】:

1.一种支承轴,所述支承轴在进行磁盘用玻璃基板的内周端面研磨及/或外周端面研磨时,向磁盘用玻璃基板的中央开口部插入而用于磁盘用玻璃基板的定位,所述支承轴的特征在于,

所述支承轴的与磁盘用玻璃基板的内周端面接触的部分的表面粗糙度Ra为0.9μm以下。

2.根据权利要求1所述的支承轴,其特征在于,

对于所述支承轴的与磁盘用玻璃基板的内周端面接触的部分,以与所述支承轴的长度方向垂直的面剖切时的截面的圆度为10μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的支承轴,其特征在于,

所述支承轴的与磁盘用玻璃基板的内周端面接触的部分由硬质铬或类金刚石碳涂敷。

4.一种磁盘用玻璃基板的端面研磨方法,其中,

使用权利要求1~3中任一项所述的支承轴,对磁盘用玻璃基板的内周端面及/或外周端面进行研磨。

5.一种磁盘用玻璃基板的制造方法,其中,

所述磁盘用玻璃基板的制造方法具有如下工序:利用权利要求4所述的磁盘用玻璃基板的端面研磨方法,对磁盘用玻璃基板的内周端面及/或外周端面进行研磨。

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