[发明专利]支承轴、磁盘用玻璃基板的端面研磨方法、及磁盘用玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及支承轴、磁盘用玻璃基板的端面研磨方法、及磁盘用玻璃基板的制造方法。

背景技术

作为在磁盘记录装置等中使用的环形状的磁盘用基板，近年来，由于高密度记录化的要求，主要使用平坦性、平滑性优异的玻璃基板。

磁盘用玻璃基板(以下也记载为“玻璃基板”)为了抑制污染物质的附着或HDD装置的主轴的摩擦接触引起的磨损、由其引起的玻璃或金属微粉的产生，通常在其制造工序中利用刷子等对玻璃基板的内外周端面进行研磨加工。

在对内周端面进行研磨时，使用例如专利文献1记载那样的方法：首先，将玻璃基板的中央开口部(在玻璃基板的中央部设置的开口部)向支承轴插入，由此一边进行位置对合一边形成玻璃基板层叠体。接着，将玻璃基板层叠体设置于工件夹具，将支承轴拔出，向玻璃基板层叠体的中央孔插入研磨刷而对内周端面进行研磨。

另外，在对外周端面进行研磨时，使用如下的方法：向磁盘用玻璃基板的中央开口部插入支承轴，由此进行玻璃基板的位置对合，进而，利用支承轴对玻璃基板层叠体的内周部进行支承，并使外周端面部与研磨刷接触而进行外周端面研磨。

然而，在这些端面研磨工序中，存在进行玻璃基板的位置对合、内周端面的支承的支承轴损伤玻璃基板的内周端面，减少其强度，或反之玻璃基板损伤支承轴而无法使用等问题。

为了应对这些问题，例如在专利文献2中提出了不使用支承轴的玻璃基板层叠体用工件夹具。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本国特开2011-230276号公报

【专利文献2】日本国特开2012-003824号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

近年来，伴随着磁盘的记录密度的高密度化，有时使用如下的方法：在磁记录用磁性层的成膜中、成膜前或成膜后，进行将玻璃基板(或磁盘)加热成300～400℃的处理来提高记录再生特性。

而且，由于磁盘的记录密度极度高密度化，存在因热摇晃而磁化消失的问题，但是为了克服该问题，提出了使用非常高的抗磁力(矫顽力)的磁性材料的热辅助磁记录等新技术。在该技术中，作为磁性膜，将CoPt系合金、FePt系合金等在将基板温度加热成400℃～700℃附近的状态下进行成膜。

如上述那样，在为了使磁盘的记录密度为高密度化而需要将玻璃基板加热成高温的情况下，使用高耐热性的玻璃基板等，但有时对玻璃基板进行急冷及/或急加热，与以往相比，作用于玻璃基板的热冲击变得非常大。存在有当玻璃基板的内周端面或其附近存在伤痕等缺陷时，因该热冲击而缺陷扩大，玻璃基板或磁盘整体的机械特性下降、进而导致玻璃基板或磁盘整体的破坏的可能性的问题。

这样，伴随着磁盘的记录密度的高密度化，与以往相比，作用于玻璃基板的热冲击变得非常大，因该热冲击而缺陷扩大，因此以往不会成为问题的微小的伤痕等缺陷处于内周端面或其附近的情况成为问题。

作为在玻璃基板的内周端面上产生微小的伤痕等缺陷的原因之一，在向玻璃基板的中央开口部插入支承轴时，在从玻璃基板层叠体拔出支承轴时，存在支承轴向玻璃基板的内周端面施加的冲击。

在专利文献2中，提出了未使用对玻璃基板的内周端面施加冲击的支承轴的玻璃基板层叠体用工件夹具的方案，但是在该方法中，难以高精度地使玻璃基板的位置对合，可能无法充分满足玻璃基板的加工精度(圆度、同心度)。

因此，本发明鉴于在制造高记录密度的磁盘的工序中当大的热冲击作用于玻璃基板(或磁盘)的情况下玻璃基板或磁盘整体的机械特性下降的问题，其目的在于提供一种支承轴，其在进行玻璃基板的内周端面研磨及/或外周端面研磨时向玻璃基板的中央开口部插入而用于玻璃基板的位置对合的支承轴，即向玻璃基板的内周端面施加的冲击小且能够大幅减少向内周端面的微小的伤痕的产生。

【用于解决课题的方案】

为了解决上述课题，本发明提供一种支承轴，在进行磁盘用玻璃基板的内周端面研磨及/或外周端面研磨时，向磁盘用玻璃基板的中央开口部插入，用于磁盘用玻璃基板的定位，其特征在于，所述支承轴的与磁盘用玻璃基板的内周端面接触的部分的表面粗糙度Ra为0.9μm以下。

【发明效果】

根据本发明的支承轴，在进行玻璃基板的内周端面研磨及/或外周端面研磨时，对于支承轴即使进行磁盘用玻璃基板(层叠体)的拆装等，向玻璃基板的内周端面的微小的伤痕等的缺陷的产生也能够比以往大幅减少。

附图说明

图1是磁盘用玻璃基板的说明图。