[发明专利]用于压印的结构印模、装置以及方法有效
申请号: | 201280074370.9 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN104704425B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | P.菲舍尔;G.克赖因德尔;J.哈明;C.塔纳;C.舍恩 | 申请(专利权)人: | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 陈浩然;宣力伟<国际申请>=PCT/EP |
地址: | 奥地利圣*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 压印 结构 印模 装置 以及 方法 | ||
1.一种结构印模(5),带有
-具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1),印模面(2)用于将与所述印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上,
-框架(3),其用于夹紧所述柔性印模(1),
其特征在于,所述柔性印模(1)如此柔性地来构造,即,所述柔性印模(1)能够借助于压印元件(8)利用线性力伸展超出由所述框架(3)限定的表面平面,并且
所述印模包括载体和相应的具有结构元件的印模构件,其中,所述载体和/或所述印模构件如此柔性地来构造,以便能够被所述压印元件(8)相应地变形,其中,所述结构印模(5)设有在所述框架的背对所述印模面(2)的侧部上容纳所述框架(3)的保持框架(11),其中,所述结构印模(5)设有马达用于所述结构印模(5)的角度的自动取向,并且其中,所述框架(3)在所述框架(3)的相对而置的两个夹紧侧(10,10')处具有成对的相对而置的夹紧板条(4,4'),所述印模(1)被夹紧到所述夹紧板条中,其中,所述夹紧板条(4,4')中的一个被刚性地固定在所述框架(3)处而所述夹紧板条(4,4')中的另一个通过弹簧系统与所述框架(3)相联结,所述弹簧系统由多个弹簧(12)构成。
2.根据权利要求1所述的结构印模(5),其特征在于,所述框架(3)具有相对而置地伸延的两个引导板条(9,9')以用于沿着印模(1)的加载侧(2u)引导压印元件(8),加载侧(2u)沿着所述印模(1)的背对所述印模面(2)的侧部来布置。
3.根据权利要求2所述的结构印模,其特征在于,这两个引导板条(9,9')彼此平行地伸延。
4.根据权利要求2所述的结构印模,其特征在于,所述压印元件(8)是压印辊子。
5.根据权利要求2所述的结构印模,其特征在于,所述表面平面通过所述引导板条(9,9')限定。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的结构印模,其特征在于,所述印模(1)由载体和在该载体之上模制或热压印的印模层形成。
7.根据权利要求6所述的结构印模(5),其特征在于,所述印模层是并非仅仅弹性体的印模层。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的结构印模,其特征在于,带有沿着所述框架(3)引导的压印元件(8)。
9.根据权利要求8所述的结构印模,其特征在于,所述压印元件(8)如此在所述保持框架(11)和所述框架(3)之间来引导,即,所述压印元件(8)可沿着所述印模(1)来引导,并且印模(1)在此构造成利用压印力来加载。
10.根据权利要求9所述的结构印模(5),其特征在于,所述压印元件(8)在所述保持框架(11)和所述框架(3)之间平行于相对而置的夹紧侧(4,4')来引导。
11.一种用于将压印图案压印在压印面(6o)上的装置,带有以下特征:
-印模容纳部,其用于容纳根据权利要求1-10中任一项所述的结构印模(5)且使之运动,
-压印材料容纳部,其用于相对于所述结构印模(5)容纳和布置压印材料(6),
-压印元件驱动部,其用于使压印元件(8)沿着所述结构印模(5)运动。
12.一种用于将压印图案压印在压印材料的压印面上的方法,带有以下步骤:
-相对于压印材料布置根据权利要求1至10中任一项所述的结构印模的印模面,
-使压印元件沿着结构印模运动,在此,利用线性力加载所述结构印模,并且在此通过利用所述印模面加载压印材料来压印压印材料。
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