[发明专利]用于压印的结构印模、装置以及方法

说明书

本发明涉及结构印模(5)，带有：具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1)，印模面(2)用于将与印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上；框架(3)，其用于夹紧印模(1)。此外，本发明涉及用于将压印图案压印在压印面(6o)上的装置，带有以下特征：印模容纳部，其用于容纳根据上述权利要求中任一项所述的结构印模(5)且使之运动；压印材料容纳部，其用于相对于结构印模(5)容纳和布置压印材料(6)；压印元件驱动部，其用于使尤其根据权利要求3、4、7或8中任一项构造的压印元件(8)沿着结构印模(5)运动。此外，本发明涉及对应的方法。

技术领域

本发明涉及根据本发明的用于压印的结构印模、根据本发明的装置以及根据本发明的方法。

背景技术

用于表面的微结构化和/或纳米结构化的当前的现有技术主要包括影印平版印刷技术和不同的压印技术。压印技术或者利用硬印模或者利用软印模来工作。近来，主要盛行压印平版印刷技术并且正取代传统的影印平版印刷技术。在压印平版印刷技术当中，主要越来越倾向使用所谓的软印模。原因在于印模的简单的制造、高效的压印过程、相应的印模材料的非常好的表面性能、低的成本、压印产品的可复制性，且原因主要在于印模在脱模过程中的弹性变形的可能性。在软平版印刷技术中，使用由带有微结构化或纳米结构化的表面的弹性体制成的印模，以便制成在20nm直至＞1000μm范围中的结构。

存在六种已知的技术：

·微接触和/或纳米接触印刷(μ/nCP)

·复制模制(REM)

·微转印模制(μTM)或者纳米压印平版印刷(NIL)

·毛细管微模制(MIMIC)

·溶剂辅助的微模制(SAMIM)，以及

·相移平版印刷。

弹性体印模制成为主模的阴模。主印模为包含金属或陶瓷的硬印模，其通过相应昂贵的工艺一次性制成。于是，可由主模制成任意多个弹性体印模。弹性体印模使得能够在大的表面上实现一致的均匀的接触。弹性体印模可轻易地与其主印模以及压印产品分离。此外，弹性体印模具有小的表面张力以用于轻易且简单地分离印模和基板。为了自动化地实现软平版印刷工艺，需要通过载体支撑弹性体印模。目前使用带有不同厚度的玻璃载体基板。然而，由于使用厚的玻璃基板，弹性的印模至少部分地失去其柔性。

使用刚性的载体使得在压印过程之后自动地分离印模和基板变得困难，由此仅可困难地实现压印平版印刷的工艺自动化和工业可用性。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供用于微结构化和/或纳米结构化的装置和方法，通过该装置和方法可保证自动化和更快的工艺流程。

该目的利用本发明实现。由在说明书和/或附图中给出的特征中的至少两个组成的所有组合也都落在本发明的范围中。对于所给出的值域，在所述极限之内的值也应作为极限值被公开并且可以任意的组合要求保护。

本发明说明了这样的方法和装置，在其中，使用结构印模，其包括尤其至少部分地(优选大部分地)微结构化和/或纳米结构化的弹性体印模(尤其薄膜印模)和框架。根据本发明，印模在加载侧上沿着其整个长度尤其在连续的工艺中利用尤其横向于长度延伸的线性力加载，以便将结构压到压印材料中。优选地，借助于压印元件(尤其优选刚性的压印辊子)进行加载。

在下文中，印模理解为任意形式的这样的构件，该构件在其表面处具有相应的结构元件并且在压印过程中具有根据本发明的柔性。印模可为单个的或者为组合的构件。如果印模仅仅实施为单个的构件，则印模由薄膜或者柔性板构成，在该薄膜或柔性板中已经产生了相应的结构元件。在组合的印模的情况下，其包括载体和具有结构元件的相应的印模构件。在这种情况下，载体和/或印模构件作为构件组必须具有必要的柔性，以便可由压印元件相应地使其变形。