[发明专利]具有可运动式设备部分的设备尤其坐标测量设备或工具机

权利要求书

1.一种设备，所述设备包括坐标测量设备或者工具机，该设备具有：

·可运动式设备部分(44)；

·驱动器(43)，该驱动器设计用于，驱动所述可运动式设备部分(44)并且由此引起所述可运动式设备部分(44)的运动；

·控制器(46)，该控制器与所述驱动器(43)连接并且设计用于控制所述驱动器(43)；

·第一信号发生器(49)，用于确定所述可运动式设备部分(44)的位置和/或速度，其中，所述第一信号发生器(49)和/或一与该第一信号发生器连接的第一信号分析处理装置与所述控制器(46)相连接，从而所述控制器(46)在所述设备运行时由所述第一信号发生器(49)获得关于所述可运动式设备部分(44)的位置和/或速度的信息并且根据所获得的信息来控制所述驱动器(43)；

·第二信号发生器，用于检验和/或冗余地确定所述可运动式设备部分(44)的位置和/或速度；

·监控装置，该监控装置设计用于，在考虑所述第二信号发生器的信号和/或考虑由此推导出的信息的情况下识别出所述设备的错误和/或所述设备的运行干扰，

其特征在于，

·所述第二信号发生器具有信号发生器单元(45)，该信号发生器单元具有：辐射源(61)、由辐射灵敏的探测器元件组成的矩阵(64)、以及用于处理所述探测器元件的探测器信号的信号处理器(65)；

·所述辐射源(61)设计用于，将辐射照射到所述设备的相对于所述信号发生器单元(45)可运动式元件(48)上，从而所述矩阵(64)根据所述信号发生器单元(45)与所述可运动式元件(48)的相对位置产生所述探测器信号；以及

·监控装置直接或间接经由所述设备的至少一个其它装置与所述信号处理器(65)连接；

监控装置也与第一信号发生器、或者与第一信号分析处理装置、或者与控制器(46)相连接，从而监控装置不仅由第二信号发生器而且也由第一信号发生器(49)分别获得关于可运动式设备部分的位置和/或速度的信息。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述信号发生器单元(45)和所述设备的可运动式元件(48)沿着直线运动方向相对彼此能够运动，其中，由辐射灵敏的探测器元件组成的矩阵(64)是二维矩阵(64)，该二维矩阵具有矩阵平面，在该矩阵平面中，所述探测器元件沿着所述矩阵平面的行方向和列方向前后相继地设置，并且，所述直线运动方向到所述矩阵平面上的平行投影限定了所述矩阵平面中的一直线，该直线与所述行方向以及所述列方向相交成锐角。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述信号处理器(65)设计用于，参照所述矩阵(64)的行方向和参照列方向分别求取到所述设备的可运动式元件(48)相对于所述信号发生器单元(45)的速度和/或位置变化作为求取结果，并且，所述设备具有测试装置，该测试装置设计用于，由参照所述行方向与参照所述列方向的求取结果的比较来确定：是否所述信号发生器单元(45)提供可信的结果。

4.根据权利要求1至3之一所述的设备，其中，所述信号发生器单元(45)设计用于，出于测试目的来改变所述辐射源(61)的照射强度，并且，所述设备具有测试装置，该测试装置设计用于，由所述矩阵(64)在照射强度不同的情况下的探测结果的比较来确定：是否所述信号发生器单元(45)提供可信的结果。

5.根据权利要求1至3之一所述的设备，其中，所述信号处理器(65)设计用于，由所述矩阵(64)的探测结果确定一参量，用于所述可运动式元件(48)的表面区域的信息内容，该信息内容由所述矩阵(64)成像，并且，所述设备具有测试装置(65)，该测试装置设计用于，由用于所述信息内容的参量以及由至少一个比较值来确定：是否所述信号发生器单元(45)提供可信的结果。

6.根据权利要求1至3之一所述的设备，其中，所述可运动式元件(48)在相对于所述信号发生器单元(45)预定的相对位置上具有对于该预定的相对位置而言特征化的表面构造，并且，所述信号处理器(65)、所述监控装置或者所述设备的另一装置设计用于，当所述特征化的表面构造被所述信号发生器单元(45)的矩阵(64)检测时，识别到所述预定的相对位置。