[发明专利]玻璃基板的缺陷检测方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种玻璃基板的缺陷检测方法，特别是有关于一种增进维修设备产能的玻璃基板的缺陷检测方法。

背景技术

近年来，薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film Transistor Liquid-CrystalDisplay，TFT-LCD)产业应用层面从小尺寸的手机、个人数位助理到中尺寸的笔记型电脑、个人电脑，在到目前大尺寸的液晶电视，面板厂商不断的提升制作过程的技术，玻璃基板尺寸也有越来越大的趋势，大尺寸的玻璃基板除了可切割更大尺寸的产品应用外，亦可提高产能。

在TFT-LCD制作工艺上对于缺陷的检测，主要是应用自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)的技术来取代人工检测缺陷，以降低以人工方式长时间检测可能造成的误检或漏检的风险，亦可提升检测效率及低检测成本。至于检测后的缺陷分类，以及面板等级判定主要还是以人工方式判断，判断后才能决定面板下一步是要做修补、重制、报废或是往下一个制程。

薄膜晶体管(Thin-Film Transistor，TFT)的制作工艺主要为五道电路层制作，每道电路都需要经过薄膜、黄光、蚀刻等工艺，在每道电路完成后都需要检测及量测是否有缺陷会影响电路，若判断会影响电路之缺陷，就必须采取补救措施，例如修补(Repair)或电路重制(Rework)，若缺陷太严重，可能整片玻璃报废(Scrap)，AOI机台主要的工作就是自动逐一检测(review)全部缺陷，以确定那些缺陷实际上需要修补或重制。

修补及重制都需要时间及材料成本，以人工方式判断容易因个人的偏好或疲劳导致误判或漏判，或以自动光学检测方式逐一检视判断全部缺陷则仍有耗时及效率无法进一步提升的限制。故，有必要提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，以解决现有技术所存在的人工方式误判或漏判缺陷问题。

本发明的主要目的在于提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其通过先将缺陷位置区分成落在会影响产品良率的区域(即具有电路的区域)及不影响产品良率的区域(即具有像素电极的区域)，以减少后续检测(review)缺陷决定缺陷是否需要修补的作业次数及所需时间。

本发明的次要目的在于提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其可以提升自动光学检测的效率及准确度，并减少人为的误判或漏判。

为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种玻璃基板的缺陷检测方法，其中所述缺陷检测方法包含步骤︰撷取一玻璃基板的一检测影像图，所述检测影像图显示所述玻璃基板上的多个缺陷；将所述检测影像图区分成一第一区域及一第二区域；仅检测判断位于所述检测影像图的第一区域中的缺陷是否分别需要进行修补；以及仅针对位于所述检测影像图的第一区域中且判断需要进行修补的缺陷进行修补动作。

在本发明的一实施例中，所述玻璃基板是一液晶显示器的一薄膜晶体管阵列基板。

在本发明的一实施例中，所述第一区域是所述玻璃基板中的电路区域，所述电路区域包含晶体管电路。

在本发明的一实施例中，所述电路区域另包含扫描线、数据线或储存电容。

在本发明的一实施例中，所述第二区域是所述玻璃基板中的像素电极区域。

在本发明的一实施例中，在检测判断的步骤中，根据至少一种缺陷资讯检测判断所述第一区域中的各缺陷是否分别需要进行修补，所述缺陷资讯包含：一位置座标资讯以及一缺陷大小资讯。

在本发明的一实施例中，在根据所述位置座标资讯进行检测时，若所述缺陷完全位在所述第一区域中或至少一部份位在所述第一区域中，则判断所述缺陷需要进行修补。

在本发明的一实施例中，在根据所述位置座标资讯进行检测时，若所述缺陷在水平及垂直方向的长度值超过一预定的水平及垂直方向的最大长度值，则判断所述缺陷需要进行修补。

在本发明的一实施例中，在所述缺陷根据所述缺陷资讯进行检测判断之后，将所述缺陷资讯储存在一缺陷资料库，并加以分析判断得到一检测等级，以供判断所述第一区域中的各缺陷是否分别需要进行修补，其中所述检测等级包含：报废、修补以及良好。