[发明专利]吊架和具有这种吊架的电镀系统

权利要求书

1.一种用于可释放地保持基板以便电镀的吊架，所述基板具有第一边缘、第二边缘和第三边缘，其中所述第二边缘和第三边缘彼此相对，所述吊架包括：

至少一第一保持器，所述第一保持器用于可释放地保持所述基板的所述第一边缘，

至少一第二保持器，所述第二保持器用于可释放地保持所述基板的所述第二边缘，和

至少一第三保持器，所述第三保持器用于可释放地保持所述基板的所述第三边缘，

其中所述第一保持器是导电的，并且

其中所述第二保持器和所述第三保持器是电绝缘的。

2.根据权利要求1所述的吊架，其中，所述第一保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态和所述基板能够从所述第一保持器中移除的打开状态之间移动。

3.根据权利要求2所述的吊架，其中，所述第一保持器被朝向所述关闭状态偏压。

4.根据权利要求1所述的吊架，其中，所述第二保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态和所述基板能够从所述第二保持器中移除的打开状态之间移动，并且其中所述第三保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态和所述基板能够从所述第三保持器移除的打开状态之间移动。

5.根据权利要求4所述的吊架，其中，所述第二保持器和所述第三保持器被朝向各自的关闭状态偏压。

6.根据权利要求1所述的吊架，其中，该吊架还包括第一屏蔽构件，所述第一屏蔽构件与所述第二保持器接合以便同时移动。

7.根据权利要求6所述的吊架，其中，所述第一屏蔽构件与所述第二保持器间隔开至多15mm的距离。

8.根据权利要求7所述的吊架，其中，所述第一屏蔽构件与所述第二保持器间隔开的所述距离能够调节。

9.根据权利要求6所述的吊架，其中，所述第一屏蔽构件适于以基本上20mm到基本上40mm的宽度屏蔽所述基板。

10.根据权利要求6所述的吊架，其中，该吊架还包括第二屏蔽构件，所述第二屏蔽构件与所述第三保持器接合以便同时移动。

11.一种电镀系统，所述电镀系统包括至少一个根据权利要求1的吊架。

12.根据权利要求11所述的系统，其中，所述吊架的所述第一保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态与所述基板能够从所述第一保持器中移除的打开状态之间移动，并且其中所述系统还包括第一移动装置，所述第一移动装置用于将所述第一保持器从所述关闭状态移动到所述打开状态。

13.根据权利要求11所述的系统，其中，所述吊架的所述第二保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态与所述基板能够从所述第二保持器移除的打开状态之间移动，并且其中所述吊架的所述第三保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态与所述基板能够从所述第三保持器移除的打开状态之间移动，并且其中所述系统还包括第二移动装置，所述第二移动装置用于将所述第二保持器从所述第二保持器的关闭状态移动到所述第二保持器的打开状态。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述第二移动装置适于将所述第三保持器从所述第三保持器的关闭状态移动到所述第三保持器的打开状态。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述第二移动装置适于同时将所述第二保持器和所述第三保持器从各自的关闭状态移动到各自的打开状态。

16.根据权利要求11所述的系统，其中，所述第二保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态与所述基板能够从所述第二保持器移除的打开状态之间移动，并且所述第三保持器能够在用于保持所述基板的关闭状态与所述基板能够从所述第三保持器移除的打开状态之间移动，该系统还包括：

本体，所述第一保持器、所述第二保持器和所述第三保持器与所述本体接合，和

维持装置，在所述第二保持器和所述第三保持器在各自的关闭状态和打开状态之间移动期间，所述维持装置用于维持所述本体基本上静止。

17.根据权利要求16所述的系统，其中，所述第二保持器能够相对于所述本体平移移动以在所述第二保持器的关闭状态和打开状态之间移动。