[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，利用激光，所述激光加工装置的特征在于，包括：

光源，用于沿第一方向形成中空激光束；

反射部件，用于将沿第一方向的所述中空激光束的行进路径改变为朝向基板的第二方向；

透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及

空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，

所述透镜包括贯穿所述透镜的第一通孔，所述反射部件包括贯穿所述反射部件的第二通孔，所述第一通孔及所述第二通孔形成所述颗粒的排出路径。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所述第一通孔和所述第二通孔位于同一个轴线上。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所形成的所述第一通孔的大小和所述第二通孔的大小彼此不相同。

4.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所形成的所述第二通孔的大小小于所述第一通孔的大小。

5.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所述第一通孔包括在所述第一通孔的内周面沿第一螺旋方向形成的第一凹槽；

所述第二通孔包括在所述第二通孔的内周面沿所述第一螺旋方向形成的第二凹槽。

6.如权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于：

所述第一凹槽沿远离所述基板的方向以逆时针方向旋绕所述第一通孔的内周面；

所述第二凹槽沿远离所述基板的方向以逆时针方向旋绕所述第二通孔的内周面。

7.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：

所述空气供给部朝向垂直于所述第二方向的方向供给空气，从而使所述颗粒向与所述第一通孔对应的位置移动。

8.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

吸入部，位于所述颗粒的排出路径的末端，用于吸入所述颗粒。

9.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

第一窗口部件，位于所述中空激光束的行进路径上，在空间上分离所述光源和所述排出路径，从而防止沿所述第一通孔行进的颗粒向所述光源移动。

10.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

第二窗口部件，配置为与所述透镜的第一面相邻，所述第一面与所述反射部件相对。

11.如权利要求10所述的激光加工装置，其特征在于：

所述第二窗口部件与所述透镜的第一面的至少一部分接触。

12.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

第三窗口部件，配置为与所述透镜的第二面相邻，所述第二面与所述基板相对。

13.如权利要求12所述的激光加工装置，其特征在于：

所述第三窗口部件与所述透镜的所述第二面的至少一部分接触。

14.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

隔断膜部件，通过沿所述第二方向朝向所述基板释放空气以形成空气壁，从而阻断所述颗粒朝外部移动。

15.一种激光加工装置，利用激光，所述激光加工装置的特征在于，包括：

光源，形成中空激光束；

反射部件，用于改变所述中空激光束的行进路径，从而使所述中空激光束朝向基板行进；

透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及

空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，

所述透镜及所述反射部件形成所述颗粒的排出路径，其中所述颗粒的排出路径形成在与所述中空激光束的光轴同一个轴线上。

16.如权利要求15所述的激光加工装置，其特征在于：

所述透镜包括设置在与所述中空激光束的光轴同一个轴线上的第一通孔，

所述反射部件包括设置在与所述中空激光束的光轴同一个轴线上的第二通孔。

17.如权利要求16所述的激光加工装置，其特征在于：

所形成的所述第二通孔的大小小于所述第一通孔的大小。