[发明专利]激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光加工装置。

背景技术

通常，显示器用基板可为在液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等显示装置中使用的玻璃。

有一种加工显示器用基板的现有方法为划线轮（Scribe Wheel）法，但划线轮法需要一定面积以上的虚拟区域，并且在加工时会生成颗粒（particle），而为了去除颗粒，还另外需要清洗工序及干燥工序。因此该方法具有加工表面不光滑，耗品费用增加的缺点。

为了克服如上缺点，使用一种应用激光的装置。激光加工具有加工表面光滑，容易控制的优点。在进行激光加工时也会产生颗粒或烟雾（fume），但重要的是能够在不妨碍加工基板的情况下排出颗粒或烟雾。

发明内容

本发明的一实施例涉及一种基板加工装置，更为具体地涉及一种激光加工装置的结构。

本发明的一个方面提供一种激光加工装置，该激光加工装置利用激光，包括：光源，用于沿第一方向形成中空激光束；反射部件，用于将沿第一方向的所述中空激光束的行进路径改变为朝向基板的第二方向；透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，所述透镜包括贯穿所述透镜的第一通孔，所述反射部件包括贯穿所述反射部件的第二通孔，所述第一通孔及所述第二通孔形成所述颗粒的排出路径。

根据本发明的一个特征，所述第一通孔和所述第二通孔可位于同一个轴线上。

根据本发明的另一特征，所形成的所述第一通孔的大小和所述第二通孔的大小可以彼此不相同。

根据本发明的另一特征，所形成的所述第二通孔的大小可小于所述第一通孔的大小。

根据本发明的另一特征，所述第一通孔可包括在所述第一通孔的内周面沿第一螺旋方向形成的第一凹槽；所述第二通孔可包括在所述第二通孔的内周面沿所述第一螺旋方向形成的第二凹槽。

根据本发明的另一特征，所述第一凹槽可沿远离所述基板的方向以逆时针方向旋绕所述第一通孔的内周面；所述第二凹槽可沿远离所述基板的方向以逆时针方向旋绕所述第二通孔的内周面。

根据本发明的另一特征，所述空气供给部可以沿垂直于所述第二方向的方向供给空气，从而使所述颗粒向与所述第一通孔对应的位置移动。

根据本发明的再一特征，还可包括：吸入部，位于所述颗粒的排出路径的末端，用于吸入所述颗粒。

根据本发明的再一特征，还可包括：第一窗口部件，位于所述中空激光束的行进路径上，在空间上分离所述光源和所述排出路径，从而防止沿所述第一通孔行进的颗粒向所述光源移动。

根据本发明的再一特征，还可包括：第二窗口部件，配置为与所述透镜的第一面相邻，所述第一面与所述反射部件相对。

根据本发明的再一特征，所述第二窗口部件可与所述透镜的第一面的至少一部分接触。

根据本发明的再一特征，还可包括：第三窗口部件，配置为与所述透镜的第二面相邻，所述第二面与所述基板相对。

根据本发明的再一特征，所述第三窗口部件可与所述透镜的所述第二面的至少一部分接触。

根据本发明的再一特征，还可包括：隔断膜部件，通过沿所述第二方向朝向所述基板释放空气以形成空气壁（airwall），从而阻断所述颗粒朝外部移动。

根据本发明的另一方面提供一种激光加工装置，该激光加工装置利用激光，包括：光源，用于沿第一方向形成中空激光束；反射部件，用于改变所述中空激光束的行进路径，从而使所述中空激光束朝向基板行进；透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，所述透镜及所述反射部件形成所述颗粒的排出路径，其中所述颗粒的排出路径形成在与所述中空激光束的光轴同一个轴线上。

根据本发明的再一特征，所述透镜可包括设置在与所述中空激光束的光轴同一个轴线上的第一通孔；所述反射部件可包括设置在与所述中空激光束的光轴同一个轴线上的第二通孔。

根据本发明的再一特征，所形成的所述第二通孔的大小可小于所述第一通孔的大小。

根据本发明的再一特征，在所述颗粒的排出路径的内侧面上可形成有螺旋状凹槽，所述螺旋状凹槽沿远离所述基板的方向以逆时针方向旋绕所述第一通孔的内周面。

根据本发明的再一特征，还可包括：第一窗口部件，位于所述中空激光束的行进路径上，在空间上分离所述光源和所述排出路径，从而防止所述颗粒向所述光源移动。