[发明专利]玻璃基板的修补方法有效
| 申请号： | 201310014367.4 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103091878A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 郑文达;吴础任 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1362;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 刁文魁;唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 修补 方法 | ||
1.一种玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述玻璃基板的修补方法包含步骤︰
提供一个激光源，输出一激光；
提供一个图案化的反射片，设置于所述激光的一光路上，所述反射片具有一遮光区及一反光区；
通过所述反射片的反光区反射所述激光到一玻璃基板上，以利用所述遮光区在所述玻璃基板上对应形成一暗区保护所述玻璃基板上的一图案化结构；以及
利用所述激光将位在所述暗区以外的多个缺陷进行移除或修补。
2.如权利要求1所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述玻璃基板是一液晶显示器的薄膜晶体管阵列基板。
3.如权利要求1所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述遮光区是所述反射片上涂布抗反射性涂层的一区域，或是所述反射片上的一开口。
4.如权利要求1所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述图案化结构是图案化光刻胶层。
5.如权利要求1所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述图案化结构是扫描线、数据线、薄膜晶体管及储存电容的至少一个的图案化金属电路。
6.如权利要求1所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：在提供一个图案化的反射片之后，所述玻璃基板的修补方法还包含步骤︰
提供一角度控制单元及一位移单元，用以调整所述反射片的反射角度及位置，使得所述遮光区形成的暗区对位于所述玻璃基板上的图案化结构。
7.如权利要求1所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：在形成一对应的暗区在所述玻璃基板上之后，所述玻璃基板的修补方法还包含步骤︰
得到所述玻璃基板的一检测影像图，所述检测影像图中包含所述暗区及一亮区，所述暗区对应于所述图案化结构，所述亮区显示所述多个缺陷。
8.一种玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述玻璃基板的修补方法包含步骤︰
提供一个激光源，输出一图案化的激光；
将所述图案化的激光导引到一玻璃基板上，以利用所述图案化的激光在所述玻璃基板上对应形成一暗区保护所述玻璃基板上的一图案化结构；以及利用所述图案化的激光将位在所述暗区以外的多个缺陷进行移除或修补。
9.如权利要求8所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：所述玻璃基板是一液晶显示器的薄膜晶体管阵列基板。
10.如权利要求8所述的玻璃基板的修补方法，其特征在于：在输出所述图案化激光的步骤中，通过提供一个图案化的反射片设置于所述激光的一光路上，以利用所述反射片的一遮光区及一反光区反射形成所述图案化激光。
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