[发明专利]玻璃基板的修补方法有效
申请号: | 201310014367.4 | 申请日: | 2013-01-15 |
公开(公告)号: | CN103091878A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 郑文达;吴础任 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1362;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 刁文魁;唐秀萍 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 修补 方法 | ||
技术领域
本发明是有关于一种玻璃基板的修补方法,特别是有关于一种利用反射片的玻璃基板的修补方法。
背景技术
近年来,薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film Transistor Liquid-CrystalDisplay,TFT-LCD)产业应用层面从小尺寸的手机、个人数位助理到中尺寸的笔记型电脑、个人电脑,在到目前大尺寸的液晶电视,面板厂商不断的提升制作过程的技术,玻璃基板尺寸也有越来越大的趋势,大尺寸的玻璃基板除了可切割更大尺寸的产品应用外,亦可提高产能。
TFT-LCD设备可包含利用液晶的透光性显示图像的LCD面板及设置在LCD面板之下来给LCD面光提供光的背光组件,LCD面板还包含阵列基板、相对基板和置于阵列基板与相对基板之间的液晶层。阵列基板包含信号线,电性连接到信号线的薄膜晶体管(TFT),覆盖并保护信号线和TFT的保护层及电性连接到TFT的像素电极。
阵列基板的信号线会具有诸如短路或短接故障的电性连接故障,通常是有缺陷阻挡而造成驱动电流不会经过TFT,就会在像素区产生所谓的黑点(dark spot︰熄点)。在TFT-LCD制作工艺上对于缺陷的检测,主要是应用自动光学检测(Automated Optical Inspection,AOI)的技术来取代人工检测缺陷,以降低以人工方式长时间检测可能造成的误检或漏检的风险,亦可提升检测效率及低检测成本。至于检测后的缺陷分类,以及面板等级判定主要还是以人工方式判断,判断后才能决定面板下一步是要做修补(repair)、重制(rework)、报废或是往下一个制程。
通常在修补TFT-LCD上,利用具有预定波长的激光照射缺陷,来烧切掉缺陷或移除正常电路构造之外的缺陷,通过上述移除缺陷方式可以修补电路。但因为需要人工判断并手动控制激光的光束进行修补,容易发生无法快速及精准控制激光投射位置的问题,因而在激光照射失准时造成正常的电路区域也被激光所破坏,故,有必要提供一种玻璃基板的修补方法,以解决现有技术所存在的问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种玻璃基板的修补方法,以解决现有技术所存在的人工方式控制激光进行修补时容易破坏正常电路构造的问题。
本发明的主要目的在于提供一种玻璃基板的修补方法,其通过利用一图案化的反射片来控制激光修补玻璃基板的区域,以自动判断及修补方式取代人工方式,进而可避免人工控制激光进行修补时误照射到正常电路区域,并提高判断及修补的效率及准确度。
为达成本发明的前述目的,本发明一实施例提供一种玻璃基板的修补方法,其中所述玻璃基板的修补方法包含步骤︰提供一个激光源,输出一激光;提供一个图案化的反射片,设置于所述激光的一光路上,所述反射片具有一遮光区及一反光区;通过所述反射片的反光区反射所述激光到一玻璃基板上,以利用所述遮光区在所述玻璃基板上对应形成一暗区保护所述玻璃基板上的一图案化结构;以及利用所述激光将位在所述暗区以外的多个缺陷进行移除或修补。
在本发明的一实施例中,所述玻璃基板是一液晶显示器的薄膜晶体管阵列基板。
在本发明的一实施例中,所述遮光区是所述反射片上涂布抗反射性涂层的一区域,或是所述反射片上的一开口。
在本发明的一实施例中,所述图案化结构是图案化光刻胶层。
在本发明的一实施例中,所述图案化结构是扫描线、数据线、薄膜晶体管及储存电容的至少一个的图案化金属电路。
在本发明的一实施例中,在提供一个图案化的反射片之后,所述玻璃基板的修补方法还包含步骤︰
在本发明的一实施例中,提供一角度控制单元及一位移单元,用以调整所述反射片的反射角度及位置,使得所述遮光区形成的暗区对位于所述玻璃基板上的图案化结构。
在本发明的一实施例中,在形成一对应的暗区在所述玻璃基板上之后,所述玻璃基板的修补方法还包含步骤︰得到所述玻璃基板的一检测影像图,所述检测影像图中包含所述暗区及一亮区,所述暗区对应于所述图案化结构,所述亮区显示所述多个缺陷。
再者,本发明另一实施例提供另一种玻璃基板的修补方法,其中所述玻璃基板的修补方法包含步骤︰提供一个激光源,输出一图案化的激光;将所述图案化的激光导引到一玻璃基板上,以利用所述图案化的激光在所述玻璃基板上对应形成一暗区保护所述玻璃基板上的一图案化结构;以及利用所述图案化的激光将位在所述暗区以外的多个缺陷进行移除或修补。
在本发明的一实施例中,所述玻璃基板是一液晶显示器的薄膜晶体管阵列基板。
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