[发明专利]密闭式自洁净搬运系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种工件搬运系统，尤其涉及适合于平板显示和微电子加工生产中基底材料搬运技术领域。

背景技术

随着平板显示行业的快速发展和进一步技术要求，自动化搬运技术得到不断提升。目前平板显示生产货物搬运过程中，存在着这样一个客观事实，储料器(Stocker)之间的货物搬运采用AGV或RGV等非密闭搬运系统，由于基板直接与周围环境接触，因此对环境的净化等级要求极高，同时上道工序残留在基板上的化学物质容易直接扩散至开敞的环境中，形成交叉污染，降低良品率。

同时，随着技术提升的要求，基板的加工尺寸不断增大，维持高净化等级的设备投入和运维费用亦巨幅增加。因此，对平板显示生产中自动化搬运系统的自净化技术提出革命性的要求。

因此，业内急需解决如下问题：以储料器之间的货物搬运为例，利用密闭式自洁净搬运系统来替代开敞式搬运系统，以降低对周围环境的洁净等级要求，削减净化系统的初始投资和运维费用，降低产品的生产成本；同时利用密闭的搬运系统，避免基板上残留的化学物质向环境扩散，避免交叉污染，提高良品率。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明的首要目的在于：提供一种密闭式自洁净搬运系统，在较低的的净化等级环境下进行储料器之间的货物搬运，同时避免残留的化学物质扩散至环境中，从而实现避免交叉污染，提高良品率的目的。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：利用一种封闭式自净化搬运系统，将储料器中的货物搬运至微净化的搬运舱内，通过搬运舱的气体保护和自带的净化吹扫装置，形成局部净化微环境，保证搬运路径的净化要求，从而降低整个生产环境的净化等级，同时利用本搬运系统的封闭特性，防止残留在基板上的化学物质向环境扩散。

根据本发明，提供一种密闭式自洁净搬运系统，其包括：能够在指定位置之间往复移动的可移动装置以及安装于可移动装置上的搬运舱。该密闭式自洁净搬运系统进一步包括装载于可移动装置上的洁净气源、通过管线连接于洁净气源的吹扫装置、安装于搬运舱的舱门处的洁净探测器、设置在搬运舱内并能够伸出搬运舱的机械手、以及安装在机械手上的用于承载货物的可转动托盘。

可选择地，可进一步设有用于控制搬运舱的舱门自动开闭的舱门开关装置。

优选地，吹扫装置可以设置在搬运舱的舱门的外侧并位于舱门的上方。

本发明的有益效果是：利用密闭式自洁净搬运系统来替代开敞式搬运系统，以降低对周围环境的洁净等级要求，最大程度上实现削减净化系统的初始投资和运维费用，降低产品的生产成本；同时利用密闭的搬运系统，避免基板上残留的化学物质向环境扩散，避免交叉污染，提高良品率。

附图说明

下面结合附图对本发明进一步说明。

图1是本发明的原理图。

图2是搬运系统工作流程图。

图3A、3B、3C、3D、3E是搬运系统工作示意图。

图中：1.可移动装置，2.洁净气源，3.搬运舱，4.吹扫装置，5.洁净探测器，6.舱门开关装置，7.机械手，8.可转动托盘，9.货物

具体实施方式

本发明提出一种密闭式自洁净搬运系统，包括：能够在指定位置之间往复移动的可移动装置1、以及安装于可移动装置1上的搬运舱3、装载于可移动装置1上的洁净气源2、通过管线连接于洁净气源2的吹扫装置4、安装于搬运舱3的舱门处的洁净探测器5、设置在搬运舱3内并能够伸出搬运舱的机械手7、以及安装在机械手7上的用于承载货物9的可转动托盘8。

例如，可移动装置1可以为各种类型的车辆。密闭式自洁净搬运系统可进一步设有用于控制搬运舱3的舱门自动开闭的舱门开关装置6。吹扫装置4可以优选地设置在搬运舱3的舱门的外侧并位于舱门的上方。

作为一种非限制性示例实施方式，在图1中，可以清楚的看到本发明的系统包括：洁净气源2、搬运舱3、吹扫装置4、舱门开关装置6和机械手7。

首先，当可移动装置1到达指定位置后，系统发送开启信号至吹扫装置4。吹扫装置4接收到开启信号后，打开洁净气源2对附近环境进行洁净吹扫。当洁净探测器5探测附近环境满足净化要求后，发送开启信号至舱门开关装置6。舱门开关装置6接收到开启信号后，洁净搬运舱3舱门打开，同时机械手7伸出搬运舱3。接收到货物9后，机械手7收回搬运舱3内，同时发出关闭信号至舱门开关装置6。舱门开关装置6接收到关闭信号后，舱门关闭，使搬运舱3完全封闭。待搬运舱3完全封闭后，发出关闭信号至吹扫装置4。吹扫装置4接收到关闭信号后，切断洁净气源2，完成搬运过程。