[发明专利]外观检查装置及外观检查方法

权利要求书

1.一种外观检查装置，根据拍摄部拍摄形成有图案的基板表面而得到 的图像，来检测上述图案的缺陷，上述外观检查装置的特征在于，

包括：

图像传输部，其用于将由拍摄部拍摄基板上的检查对象的区域而得到并 保存在图像保持存储器的、包含对上述区域分割而得到的多个部分区域的图 像数据，以相同的内容分别传输至多个图像处理用存储器；

多个图像处理部，在通过上述图像传输部向上述图像处理用存储器传输 的传输完毕的图像数据所包含的上述多个部分区域中，对与各个处理对象区 域相对应的一部分的部分区域执行用于检测缺陷的检查处理；

图像处理控制部，其与上述图像传输部的图像传输动作相独立地取得用 于规定检查内容的检查任务，并且按照该检查任务，将上述图像处理部和要 进行检查处理的上述一部分的部分区域建立对应，对多个上述图像处理部进 行控制。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，上述图像处理 控制部判定在向上述图像保持存储器传输的上述传输完毕的图像数据中是 否含有上述图像处理部要检查的上述一部分的部分区域，在不含有的情况 下，使上述图像处理部处于待机状态，直到向上述图像处理用存储器传输含 有上述图像处理部要检查的上述一部分的部分区域的上述图像数据为止。

3.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，在预先设定的 数据量的上述图像数据保存在上述图像保持存储器的情况下，上述图像传输 部向上述图像处理用存储器传输上述图像数据。

4.根据权利要求3所述的外观检查装置，其特征在于，

上述拍摄部包括线性传感器；

在通过上述拍摄部取得预先设定的线数的图像数据并保存在上述图像 保持存储器的情况下，上述图像传输部向上述图像处理用存储器传输上述图 像数据。

5.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，上述图像处理 部包括图形处理单元。

6.一种外观检查装置，根据拍摄部拍摄形成有图案的基板表面而得到 的图像，来检测上述图案的缺陷，上述外观检查装置的特征在于，

包括：

检查任务保持部，其用于保存多个检查任务,该检查任务用于规定图像 数据中的要进行检查的一部分的部分区域，该图像数据包含将上述拍摄部所 拍摄的区域分割而成的多个部分区域，

多个图像处理部，用于执行与缺陷检测相关的图像处理，

图像处理控制部，其按照上述检查任务，将上述图像处理部和要进行检 查的上述一部分的部分区域建立对应，分别控制多个上述图像处理部，

图像数据保持部，其用于保存上述图像数据，

多个图像处理用存储器，其用于保存具有上述多个部分区域的图像数 据，上述多个部分区域含有上述图像处理部要处理的上述一部分的部分区 域；

上述图像处理控制部使保存在上述图像数据保持部并包含上述多个部 分区域的图像数据，以相同的内容分别传输至多个上述图像处理用存储器，

使多个上述图像处理部按结束向上述图像处理用存储器传输的传输完 毕的图像数据所包含的上述多个部分区域中基于上述检查任务的上述一部 分的部分区域的图像处理的顺序，依次按照保存在上述检查任务保持部的下 一个上述检查任务来执行新的一部分的部分区域的图像处理。

7.根据权利要求6所述的外观检查装置，其特征在于，

上述图像处理控制部判定在保存在上述图像数据保持部的图像数据中 是否含有上述图像处理部要处理的上述一部分的部分区域的图像数据，在含 有的情况下，将具有含有上述一部分的部分区域的上述多个部分区域的图像 数据，以相同的内容分别传输至多个上述图像处理用存储器。

8.根据权利要求6所述的外观检查装置，其特征在于，

上述拍摄部包括线性传感器；

在通过上述拍摄部取得预先设定的线数的图像数据并保存在上述图像 保持存储器的情况下，上述图像处理控制部将上述图像数据以相同的内容分 别传输至多个上述图像处理用存储器。