[发明专利]外观检查装置及外观检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查在基板形成的图案的缺陷的技术。

背景技术

以往，在检测在半导体晶片等基板上形成的电路图案的缺陷的情况下， 取得电路图案的图像，并根据与作为基准的参照图像的比较，来进行提取出 缺陷部分的外观检查。最近，为了高速地进行检查处理，所提出的方案是已 具有多个处理机部件的并行数据处理型的外观检查装置（例如，专利文献1）。

具体而言，在专利文献1中所记载的外观检查装置中，当对利用线性传 感器扫描拍摄得到的图像进行分割时，整体控制用计算机设定用于对多个处 理机部件分别分配所分割的图像的条件。然后，图像分配处理部根据分配条 件分割上述图像，并分别向处理机部件传输上述图像。然后，各个处理机部 件进行所规定的检查处理，提取出电路图案的缺陷。

并且，在专利文献1中所记载的外观检查装置中，根据处理机部件的处 理能力或对应各个检查算法的计算负荷，来调整要切割的图像的范围。因此， 通过对各个处理机部件施加均等的负荷，来有效地运用处理机部件的处理能 力。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011－028410号公报

发明内容

近年，虽然对形成有功率器件、有机EL或LED等微小的管芯（die）（芯 片）的基板进行检查的要求越来越大，但是在专利文献1中所记载的外观检 查装置中，在对形成有这种微小的管芯的基板进行了检查的情况下，存在所 分割的图像的大小变得非常小的情况。这种情况下，在以往的外观检查装置 中，由于图像传输次数庞大，在进行图像数据的传输处理时发生的通信等开 销时间相对大于图像数据本身的传输时间。因此，在上述开销的影响下，存 在传输效率大幅下降的危险。若传输效率下降，最终导致检查时间延长，因 而很难有效地进行检查。

本发明的第一目的是，提供一种抑制图像的传输效率的下降来有效地进 行缺陷检查的技术。

并且，在专利文献1中所记载的外观检查装置中，需要预先进行试验性 检查，来调整对于各个处理机部件的负荷比率，以均衡地对多个处理机部件 施加计算处理的负荷。并且，在增加处理机部件以缩短检查时间的情况下， 需要再次调整对于处理机部件的负荷比率，作业非常繁杂。

并且，在专利文献1中所记载的外观检查装置中，在开始检查之前，所 切割的图像与用于处理图像的处理机部件将结合。因此，根据所切割的图像 中包含的缺陷的大小或数量，还会存在处理时间发生变化的情况，导致施加 于多个处理机部件的负荷失衡的可能性变高。

本发明的第二目的在于，提供不需要繁杂的作业也能够有效地进行图案 的缺陷检查的技术。

为了解决上述问题，在第一方案中，提供一种外观检查装置，该外观检 查装置根据拍摄部拍摄形成有图案的基板表面而得到的图像，来检测上述图 案的缺陷，上述外观检查装置包括：图像传输部，其用于将由拍摄部拍摄基 板上的检查对象区域而得到并保存在图像保持存储器的图像数据，传输至多 个图像处理用存储器；多个图像处理部，在通过上述图像传输部向上述图像 处理用存储器传输的传输完毕的图像数据中，对与各个处理对象区域相对应 的图像数据执行用于检测缺陷的检查处理；图像处理控制部，其与上述图像 传输部的图像传输动作相独立地取得用于规定检查内容的检查任务，并且按 照该检查任务对多个上述图像处理部进行控制。

并且，在第二方案中，在涉及第一方案的外观检查装置中，上述图像处 理控制部判定在向上述图像保持存储器传输的上述传输完毕的图像数据中 是否含有上述图像处理部要检查的上述图像数据，在不含有的情况下，使上 述图像处理部处于待机状态，直到向上述图像处理用存储器传输上述图像处 理部要检查的图像数据为止。

并且，在第三方案中，在涉及第一方案或第二方案的外观检查装置中， 在预先设定的数据量的上述图像数据保存在上述图像保持存储器的情况下， 上述图像传输部向上述图像处理用存储器传输上述图像数据。

并且，在第四方案中，在涉及第三方案的外观检查装置中，上述拍摄部 包括线性传感器；在通过上述拍摄部取得预先设定的线数的图像数据并保存 在上述图像保持存储器的情况下，上述图像传输部向上述图像处理用存储器 传输上述图像数据。