[发明专利]一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置及方法

权利要求书

1.一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置，它包括固装于顶板下方呈长方体结构的镀膜反应器；该镀膜反应器通过其顶板上固接的悬臂吊挂在浮法玻璃生产线的锡槽内；镀膜反应器的下方为开放式且正对穿过所述锡槽的玻璃输送带的上方；该镀膜反应器的长度与所述玻璃输送带的宽度相同；其特征在于：

所述镀膜反应器包括油冷循环系统、2个气溶胶分配器和2个排气腔；其中，气溶胶分配器长向的两端板上分别开有与外设的气源管路和液源管路相接的管孔；所述排气腔长向的两端板上分别开有与外设的废气处理系统管路相接的管孔；

所述油冷循环系统分设为6个长度相同，高度不同且与中线为准互为对称的油冷循环腔；其中，分布于中线两侧的油冷循环腔为上下重叠设置；同侧的上下2个油冷循环腔的外侧壁平齐，上方的油冷循环腔的内侧壁窄于位于下方的油冷循环腔的内侧壁，在其中线两侧的上方形成一混合腔；下方的2个油冷循环腔靠近中线的侧壁之间形成一气溶胶导向通道；在2个重叠设置的油冷循环腔外侧壁处各装有一个与其重叠设置的油冷循环腔高度相同的整体油冷循环腔；整体油冷循环腔的顶部与上方油冷循环腔的顶部均与所述顶板下表面固接；上下重叠设置的油冷循环腔和与其外壁相邻的整体油冷循环腔之间留有气流通道；

在2个上方油冷循环腔腔体的中部各自装有所述气溶胶分配器，该气溶胶分配器的一侧壁与靠该油冷循环腔靠近中线的一侧壁固接，在该侧壁的上方开有一与混合腔相通的狭缝；位于狭缝下方的混合腔两侧的侧壁上水平交错装有若干挡板；在气溶胶分配器内腔的顶壁上装有若干雾化喷嘴，每个雾化喷嘴上开设有2个进口；其一为气源进口，其二为液源进口；

在两侧的整体油冷循环腔内腔的上部各自装有所述排气腔，该排气腔的一侧壁与其整体油冷循环腔靠近中线的侧壁固接，在该侧壁的上方开有与所述气流通道相通的排气狭缝。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜反应器位于所述锡槽内630-650℃的温度区域内；所述气溶胶分配器、所述排气腔、所述混合腔及所述挡板均为长方体，其长度与所述镀膜反应器的长度相同；所述气溶胶分配器的宽度为80-120    mm；所述排气腔的宽度为80-120mm；所述混合腔的宽度为100-200mm；所述挡板的宽度大于该混合腔宽度的1/2；所述挡板设有2-5片，上侧的挡板距所述狭缝之间的距离为100-200mm；相邻2个挡板之间的距离为50-100mm。

3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于：若干个所述雾化喷嘴沿该镀膜反应器的长向设置，相邻2个所述雾化喷嘴之间的距离为50-100mm；所述气源管路和所述液源管路各设有2根，分别由所述气溶胶分配器一端板的管孔处伸入并由另一端板的管孔处伸出，其管路上间隔设有多个出口，该出口的数量为所述雾化喷嘴的总数相同；相邻2个出口之间的间距与所述雾化喷嘴之间的距离相等；所述气源管路的两端和所述液源管路的两端分别与外设的气源和液源相接。

4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于：所述气源管路上的多个出口分别与若干所述雾化喷嘴相对应的气源进口相接；所述液源管路的多个出口分别与若干所述雾化喷嘴相对应的液源进口相接。

5.如权利要求1-4任一项所述的镀膜装置，其特征在于：所述气流通道的宽度为10-20mm；所述狭缝的横向间距为3-5mm；所述排气狭缝的横向间距为3-10mm；所述气溶胶导向通道的宽度为5-10mm。

6.一种利用权利要求1-5任一项所述的镀膜装置制备TCO玻璃的方法，包括利用化学气相沉积法预先沉积基膜的步骤；它还包括：

在所述基膜的上表面再沉积形成TCO膜层的步骤；具体操作为：

取锡源90重量份、氟源5重量份、稳定剂1重量份、催化剂1重量份通过计量泵打入外设的混合器内形成混合液体，通过管路输送至所述雾化喷嘴的液源进口中；同时，将3重量份的空气作为载体，通过外设的空气压缩机经管路输入至所述雾化喷嘴的气源进口中；该混合液体与载体经所述雾化喷嘴形成气溶胶喷入所述气溶胶分配器内，再经所述混合腔内设的多个挡板的二次混合雾化后，经该混合腔下方的气溶胶导向通道落入预定的玻璃镀膜区内，利用锡槽内的热量使所述气溶胶加热、蒸发、迅速气化、在行进的高温玻璃板上团聚、沉积，在移动的已沉积有基膜的浮法玻璃表面上形成所述TCO膜层。