[发明专利]一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置及方法，属于浮法玻璃加工技术领域。

背景技术

TCO（Transparent Conductive Oxide, 透明导电氧化物镀膜）玻璃是在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜的方法均匀地镀上一层透明的导电氧化物薄膜。导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其它元素，就会使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为掺杂元素，掺杂后的半导体称为掺杂半导体。

透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有三种TCO玻璃：氧化铟锡镀膜（ITO）玻璃、氧化锌基镀膜（AZO）、氧化锡掺氟镀膜（FTO）玻璃。前两种都是成品超白浮法玻璃经切裁、磨边、清洗、再加热等工序后再进行镀膜，由于是间歇式生产，效率低，成本高，而且膜层牢固度不强，使用寿命短，不利于该技术推广。FTO玻璃成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能良好，带有一定雾度，是薄膜太阳能电池电极玻璃的主流产品，但用在线CVD（化学气相沉积）技术生产，系统复杂、设备昂贵、难于操作，生产过程不够稳定。

发明内容

为了解决上述现有技术中存在的缺陷，本发明目的是提供一种设备投资少、生产成本低、易于操作的浮法在线制备TCO玻璃的方法，同时还提供了实现该方法的专用镀膜装置。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置，它包括固装于顶板下方呈长方体结构的镀膜反应器，该镀膜反应器通过其顶板上固接的悬臂吊挂在浮法玻璃生产线的锡槽内；该镀膜反应器的下方为开放式且正对穿过所述锡槽的玻璃输送带的上方；镀膜反应器的长度与所述玻璃输送带的宽度相同；其特点为：

所述镀膜反应器包括油冷循环系统、2个气溶胶分配器和2个排气腔；其中，气溶胶分配器长向的两端板上分别开有与外设的气源管路和液源管路相接的管孔；所述排气腔长向的两端板上分别开有与外设的废气处理系统管路相接的管孔；

油冷循环系统分设为6个长度相同，高度不同且与中线为准互为对称的油冷循环腔；其中，分布于中线两侧的油冷循环腔为上下重叠设置；同侧的上下2个油冷循环腔的外侧壁平齐，上方的油冷循环腔的内侧壁窄于位于下方的油冷循环腔的内侧壁，在其中线两侧的上方形成一混合腔；下方的2个油冷循环腔靠近中线的侧壁之间形成一气溶胶导向通道；在2个重叠设置的油冷循环腔外侧壁处各装有一个与其重叠设置的油冷循环腔高度相同的整体油冷循环腔；整体油冷循环腔的顶部与上方油冷循环腔的顶部均与所述顶板下表面固接；上下重叠设置的油冷循环腔和与其外壁相邻的整体油冷循环腔之间留有气流通道；

在2个上方油冷循环腔腔体的中部各自装有所述气溶胶分配器，该气溶胶分配器的一侧壁与靠该油冷循环腔靠近中线的一侧壁固接，在该侧壁的上方开有一与混合腔相通的狭缝；位于狭缝下方的混合腔两侧的侧壁上水平交错装有若干挡板；在气溶胶分配器内腔的顶壁上装有若干雾化喷嘴，每个雾化喷嘴上开设有2个进口；其一为气源进口，其二为液源进口；

在两侧的整体油冷循环腔内腔的上部各自装有所述排气腔，该排气腔的一侧壁与其整体油冷循环腔靠近中线的侧壁固接，在该侧壁的上方开有与所述气流通道相通的排气狭缝。

上述的镀膜反应器位于所述锡槽内630-650℃的温度区域内；上述的气溶胶分配器、排气腔、混合腔及挡板均为长方体，其长度与该镀膜反应器的长度相同；其中，气溶胶分配器的宽度为80-120mm；排气腔的宽度为80-120mm；混合腔的宽度为100-200mm；挡板的宽度大于该混合腔宽度的1/2；该挡板设有2-5片，上侧的挡板距所述狭缝之间的距离为100-200mm；相邻2个挡板之间的距离为50-100mm。

若干个雾化喷嘴沿该镀膜反应器的长向设置，相邻2个雾化喷嘴之间的距离为50-100mm；所述的气源管路和所述的液源管路各设有2根，分别由气溶胶分配器一端板的管孔处伸入并由另一端板的管孔处伸出，其管路上间隔设有多个出口，该出口的数量为雾化喷嘴的总数相同；相邻2个出口之间的间距与雾化喷嘴之间的距离相等；所述气源管路的两端和所述液源管路的两端分别与外设的气源和液源相接。

上述气源管路上的多个出口分别与若干雾化喷嘴相对应的气源进口相接；上述液源管路的多个出口分别与若干雾化喷嘴相对应的液源进口相接。

上述气流通道的宽度为10-20mm；上述狭缝的横向间距为3-5mm；上述排气狭缝的横向间距为3-10mm；上述气溶胶导向通道的宽度为5-10mm。