[发明专利]层叠封装结构中的无源器件及其形成方法有效

专利信息
申请号: 201310024884.X 申请日: 2013-01-23
公开(公告)号: CN103681561A 公开(公告)日: 2014-03-26
发明(设计)人: 陈志华;陈承先 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56;H01L25/00;H01L25/16
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 层叠 封装 结构 中的 无源 器件 及其 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种器件,包括:

聚合物;

器件管芯,位于所述聚合物中;以及

无源器件,包括:

三个组件通孔(TAV),穿透所述聚合物,所述三个TAV串联连接;以及

第一再分布线(RDL),位于所述聚合物下方,所述第一RDL将所述三个TAV中的第一个TAV与所述三个TAV中的第二个TAV电连接。

2.根据权利要求1所述的器件,其中,所述三个TAV包括:

顶端,与所述聚合物的顶面平齐;以及

底端,与所述器件管芯的金属柱的端部平齐。

3.根据权利要求1所述的器件,其中,所述聚合物包括模塑料。

4.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件进一步包括位于所述聚合物上方的第二RDL,所述第二RDL将所述三个TAV中的第二个TAV与所述三个TAV中的第三个TAV电连接。

5.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件进一步包括三个焊球,每个焊球均位于所述三个TAV中的一个的上方并与这一个TAV电连接,并且所述三个焊球和所述三个TAV串联连接。

6.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件包括线圈,并且所述线圈的轴平行于所述器件管芯的背面。

7.根据权利要求6所述的器件,其中,所述无源器件进一步包括平行于所述线圈的所述轴的顺磁线,所述顺磁线包括顺磁材料。

8.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件包括电感器。

9.一种器件,包括:

器件管芯,在所述器件管芯的第一表面处包括多个金属部件;

模塑料,所述器件管芯模制在其中,所述模塑料包括:

顶面,与所述器件管芯的第二表面平齐;和

底面,与所述多个金属部件的端部平齐;以及

无源器件,包括线圈,所述线圈包括:

多个组件通孔(TAV),穿透所述模塑料;和

多条第一再分布线(RDL),位于所述模塑料下方,所述多条第一RDL和所述多个TAV串联电连接。

10.一种方法,包括:

将器件管芯放置在载体上方;

在所述载体上方形成多个组件通孔(TAV);

在聚合物中模制所述器件管芯和所述多个TAV;

减薄所述聚合物,在减薄步骤之后,TAV的端部与所述器件管芯的导电部件的端部平齐,并且通过所述聚合物暴露所述TAV的端部和所述导电部件的端部;

在所述聚合物的第一侧上形成多条第一再分布线(RDL),所述多条第一RDL电连接至所述多个TAV;以及

使用多条导线互连所述多个TAV以形成无源器件,所述多条导线和所述多条第一RDL位于所述聚合物的相对侧上,并且所述无源器件包括所述多条第一RDL中的一条和所述多个TAV。

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