[发明专利]层叠封装结构中的无源器件及其形成方法有效
申请号: | 201310024884.X | 申请日: | 2013-01-23 |
公开(公告)号: | CN103681561A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 陈志华;陈承先 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56;H01L25/00;H01L25/16 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 层叠 封装 结构 中的 无源 器件 及其 形成 方法 | ||
1.一种器件,包括:
聚合物;
器件管芯,位于所述聚合物中;以及
无源器件,包括:
三个组件通孔(TAV),穿透所述聚合物,所述三个TAV串联连接;以及
第一再分布线(RDL),位于所述聚合物下方,所述第一RDL将所述三个TAV中的第一个TAV与所述三个TAV中的第二个TAV电连接。
2.根据权利要求1所述的器件,其中,所述三个TAV包括:
顶端,与所述聚合物的顶面平齐;以及
底端,与所述器件管芯的金属柱的端部平齐。
3.根据权利要求1所述的器件,其中,所述聚合物包括模塑料。
4.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件进一步包括位于所述聚合物上方的第二RDL,所述第二RDL将所述三个TAV中的第二个TAV与所述三个TAV中的第三个TAV电连接。
5.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件进一步包括三个焊球,每个焊球均位于所述三个TAV中的一个的上方并与这一个TAV电连接,并且所述三个焊球和所述三个TAV串联连接。
6.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件包括线圈,并且所述线圈的轴平行于所述器件管芯的背面。
7.根据权利要求6所述的器件,其中,所述无源器件进一步包括平行于所述线圈的所述轴的顺磁线,所述顺磁线包括顺磁材料。
8.根据权利要求1所述的器件,其中,所述无源器件包括电感器。
9.一种器件,包括:
器件管芯,在所述器件管芯的第一表面处包括多个金属部件;
模塑料,所述器件管芯模制在其中,所述模塑料包括:
顶面,与所述器件管芯的第二表面平齐;和
底面,与所述多个金属部件的端部平齐;以及
无源器件,包括线圈,所述线圈包括:
多个组件通孔(TAV),穿透所述模塑料;和
多条第一再分布线(RDL),位于所述模塑料下方,所述多条第一RDL和所述多个TAV串联电连接。
10.一种方法,包括:
将器件管芯放置在载体上方;
在所述载体上方形成多个组件通孔(TAV);
在聚合物中模制所述器件管芯和所述多个TAV;
减薄所述聚合物,在减薄步骤之后,TAV的端部与所述器件管芯的导电部件的端部平齐,并且通过所述聚合物暴露所述TAV的端部和所述导电部件的端部;
在所述聚合物的第一侧上形成多条第一再分布线(RDL),所述多条第一RDL电连接至所述多个TAV;以及
使用多条导线互连所述多个TAV以形成无源器件,所述多条导线和所述多条第一RDL位于所述聚合物的相对侧上,并且所述无源器件包括所述多条第一RDL中的一条和所述多个TAV。
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