[发明专利]一种线性闭锁阀

权利要求书

1.一种线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，其特征在于，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述溅射腔室隔离。

2.根据权利要求1所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述壳体包括上壳体和下壳体；所述提升机构包括制动电机和螺旋丝杠，所述制动电机带动所述螺旋丝杠转动上升和下降，所述螺旋丝杠通过悬挂轴连接所述门板。

3.根据权利要求1所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述两块门板上安装有用于所述门板回位的回位弹簧。

4.根据权利要求1所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述门板上设有真空密封条。

5.根据权利要求2所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述制动电机和所述螺旋丝杠之间通过锥齿轮副和传动轴来传递动力，所述传动轴连接所述锥齿轮副。

6.根据权利要求2所述的线性闭锁阀，其特征在于，还包括控制机构，所述控制机构包括接近传感器、限位开关和气动阀组，所述提升机构上设有上下接近传感器和上下限位开关，在壳体中预设有上下止点，并与所述上下接近传感器对应，所述上下限位开关作用点分别设置在所述上下接近传感器作用点外面，所述气动阀组通过气动管线连接螺旋丝杠中设置的通气孔，所述通气孔和所述超薄气缸连通，所述气动阀组控制气缸的充压缩空气或抽真空。

7.根据权利要求2所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述螺旋丝杠外设有波纹管，所述波纹管连接所述壳体。

8.根据权利要求6所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述气动阀组为两位三通换向阀。