[发明专利]一种线性闭锁阀

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃真空镀膜技术领域，特别涉及一种用于玻璃镀真空膜生产线的线性闭锁阀。

背景技术

玻璃镀真空膜生产线溅射腔室之间一般是连通的，没有隔离机构。在维修其中一个腔室时，所有腔室都一同通入空气。这样所有溅射室重新工作前都要抽气，需要花较长的时间抽气。

发明内容

为了解决目前玻璃镀真空膜生产线溅射腔室之间连通，没有隔离，导致维修不方便的问题，现提供了一种线性闭锁阀。具体技术方案如下：

一种线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述溅射腔室隔离。

优选的，所述壳体包括上壳体和下壳体；所述提升机构包括制动电机和螺旋丝杠，所述制动电机带动所述螺旋丝杠转动上升和下降，所述螺旋丝杠通过悬挂轴连接所述门板。

优选的，所述两块门板上安装有用于所述门板回位的回位弹簧。

优选的，所述门板上设有真空密封条。

优选的，所述制动电机和所述螺旋丝杠之间通过锥齿轮副和传动轴来传递动力，所述传动轴连接所述锥齿轮副。

优选的，还包括控制机构，所述控制机构包括接近传感器、控制所述制动电机的限位开关和气动阀组，所述提升机构上设有上下接近传感器和上下限位开关，在壳体中预设有上下止点，并与所述上下接近传感器对应，所述上下限 位开关设置作用点在所述上下接近传感器作用点的外面，所述气动阀组通过气动管线连接螺旋丝杠中设置的通气孔，所述通气孔和所述超薄气缸连通。所述气动阀组控制气缸的充压缩空气或抽真空。

优选的，所述螺旋丝杠外设有波纹管，所述波纹管连接所述壳体。

优选的，所述气动阀组为两位三通换向阀。

与现有技术相比，上述技术方案提供的线性闭锁阀具有以下优点：通过提升机构带动门板，并有门板间的超薄气缸推动门板紧靠壳体内壁，将溅射室隔离，保证了溅射室维修时不用全部通入空气，方便维修，提高了效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例中提供的线性闭锁阀剖面结构图；

图2是本发明实施例中提供的门板工作状态示意图；

图3是本发明实施例中提供的门板结构示意图。

附图中，各标号所代表的组件列表如下：

1锥齿轮副，2螺旋丝杆，3传动轴，4电磁制动电机，5中心锥齿轮，6焊接波纹管，7上壳体，8下壳体，9两位三通阀组，10气动管线，11接近传感器，12限位开关，13悬挂轴，14超薄气缸，15门板。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

如图1和图2所示，本发明实施例提供了一种线性闭锁阀，用于玻璃真空膜镀溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板15，门板15位于壳体中，且与壳体外的提升机构连接，两块门板15之间安装有超薄气缸14，提升机构可带动门板15移动，超薄气缸14可推动门板15紧靠壳体内壁，将溅射腔室隔离。其中，壳体包括上壳体7和下壳体8；提升机构包括制动电机4和螺旋丝杠2，制动电 机4带动螺旋丝杠2转动上升和下降，螺旋丝杠2通过悬挂轴13连接门板15。两块门板15上安装有用于门板15回位的回位弹簧。门板15上设有真空密封条。制动电机4和螺旋丝杠2之间通过锥齿轮副1和传动轴3来传递动力，传动轴3连接锥齿轮副1。

线性闭锁阀还包括控制机构，控制机构包括接近传感器11、控制制动电机的限位开关12和气动阀组9，提升机构上设有上下接近传感器11和上下限位开关12，在壳体中预设有上下止点，并与上下接近传感器11对应，上下限位开关12作用点分别设置在上下接近传感器11作用点外面，气动阀组9通过气动管线10连接螺旋丝杠2中设置的通气孔，通气孔和超薄气缸14连通。气动阀组控制气缸的充压缩空气或抽真空。螺旋丝杠2外设有波纹管6，波纹管6连接壳体。气动阀组9为两位三通换向阀。

下面简单描述本发明实施例的工作过程。