[发明专利]刻蚀烘烤设备升降装置

权利要求书

1.一种刻蚀烘烤设备升降装置，包括升降机构（1）和支承在所述升降机构（1）上的尾气收集器（2），所述尾气收集器（2）随所述升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降，其特征在于，所述装置还包括气缸组件（3），在所述升降机构（1）将所述尾气收集器（2）提升到所述上限位置时，使用所述气缸组件（3）进一步提升所述尾气收集器（2），以形成所述尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。

2.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述升降机构（1）包括升降支架（109）和丝杆（112），所述丝杆（112）通过丝杆螺母（108）与其上方的所述升降支架（109）关联配合，以将所述丝杆（112）的旋转运动转化为所述升降机构（109）的升降运动。

3.如权利要求2所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述丝杠（112）通过皮带（104）与驱动电机（101）相连，以接受来自所述驱动电机（101）的动力。

4.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述皮带（104）具有张紧装置，所述张紧装置包括：形成在所述升降机构（1）的滑板（102）上的一对第一凸台（11）和一对旋合调节螺杆（103）的孔（12）；以及形成在所述升降机构（1）的底座（106）上的一对凹槽（13）和一对第二凸台（14），所述调节螺杆（103）通过顶靠所述第二凸台（14），致使所述滑板（102）利用所述凹槽（13）和所述第一凸台（11）之间的滑动配合沿所述凹槽（13）的方向滑动，从而张紧所述皮带（104）。

5.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，在所述升降装置（1）和所述尾气收集器（2）上设有使两者连动的连动装置，所述连动装置包括销轴（8）、形成在所述尾气收集器（2）上的多个螺孔（16）和形成在所述升降装置（1）上的多个通孔（15），所述螺孔（16）和所述通孔（15）经由所述销轴（8）关联配合。

6.如权利要求5所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述销轴（8）具有固定在所述螺孔（16）中的固定端和插入所述通孔（15）的活动端，所述销轴（8）的活动端与所述通孔（15）留有活动间隙，且所述活动端的长度能完全穿透所述通孔（15）。

7.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述气缸组件（3）包括至少一个气缸（301）、在所述气缸（301）中伸缩的气缸轴（305）、联接在所述气缸轴（305）顶部的气缸横臂（302）以及联接在所述气缸横臂（302）上的调节螺杆（303）。

8.如权利要求7所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述尾气收集器（2）设有与所述气缸组件（3）分布位置相对应的多个凸台，所述凸台与旋转到其下方的所述调节螺杆（303）相顶合。

9.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述升降机构（1）还包括安装在所述升降机构（1）上下两端的传感器（113）和安装在升降机构上的感应块（107），当所述升降机构（1）上升到所述上限位置或下降到所述下限位置时，所述感应块（107）感应所述传感器（113）的输出信号，驱动所述升降机构（1）停止运行。

10.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述尾气收集器（2）具有倒置的T形形状，所述气缸组件（3）以三角形布置的方式布置。