[发明专利]真空换料水平直线蒸镀源

权利要求书

1.一种真空换料水平直线蒸镀源，包括升华仓储存真空室及其真空系统、升华仓更换及补给系统、装置控制系统、蒸镀源室及其加热屏蔽系统，其特征在于：采用水平直线下喷式蒸镀，蒸镀源室和升华仓储存室两部分，两部分之间以气动插板阀隔离，可以手动补充新升华仓而不影响生产线的运行。

2.根据权利要求1所述真空换料水平直线蒸镀源，其特征在于：所述升华仓储存真空室及其真空系统包括真空腔室、室门、观察窗、充气阀、分子泵、机械泵、真空测量计；

所述真空腔室为焊接件；

所述室门、观察窗、充气阀、分子泵、真空测量计设置于真空腔室四周；

所述机械泵设置于分子泵后方。

3.根据权利要求1所述真空换料水平直线蒸镀源，其特征在于：所述升华仓更换及补给系统包括升降及锁紧系统、高度调整系统、升华仓换位系统、升华仓、气动插板阀、手动挡板；

所述升降及锁紧系统设置于真空腔室上方；

所述高度调整系统设置于真空腔室下方；

所述升华仓换位系统、升华仓设置于真空腔室内部下方；

所述气动插板阀设置于高度调整系统下方；

所述手动挡板设置于插板阀下方。

4.根据权利要求1所述真空换料水平直线蒸镀源，其特征在于：所述装置控制系统包括升华仓换位控制、升华仓升降控制、升华仓锁紧控制、气动插板阀开关控制、加热及温度控制；

所述升华仓换位控制、升华仓升降控制、升华仓锁紧控制、气动插板阀开关控制设置于升降系统侧方；

所述加热及温度控制设置于真空腔室外侧。

5.根据权利要求1所述真空换料水平直线蒸镀源，其特征在于：所述蒸镀源室及其加热屏蔽系统包括升华仓加热装置、三仓加热系统、热屏蔽系统。

所述升华仓加热装置设置于气动插板阀下方；

所述三仓加热系统设置于升华仓加热装置下方；

所述热屏蔽系统设置于升华仓加热装置、三仓加热系统外侧。

6.根据权利要求5所述真空换料水平直线蒸镀源，其特征在于：所述三仓加热系统包括加热器压片、热电偶固定块1、喷口板、三仓焊接件、升华仓加热装置、铠装加热器1、铠装加热器2、铠装热电偶1、铠装热电偶2、六角螺母、十字槽沉头螺钉、十字槽盘头螺钉。

所述三仓焊接件主要由三仓组件吊板、分配仓焊接件、均压仓焊接件和喷口仓焊接件焊接而成；

所述分配仓焊接件主要由分配仓、分配仓连接座焊接而成；

所述均压仓焊接件主要由均压仓、均压仓封盖、均压仓弯板焊接而成；

所述喷口仓焊接件主要喷口仓弯板、喷口板固定板焊接而成；

所述升华仓加热装置设置于三仓焊接主体上方，由4个内六角圆柱头螺钉1旋紧连接；

所述喷口板设置于三仓焊接件主体下方，由24个十字槽盘头螺钉旋紧连接；

所述热电偶固定块1和十字槽沉头螺钉配焊于三仓焊接件表面；

所述铠装加热器1、铠装加热器2、铠装热电偶1、铠装热电偶2设置于三仓焊接件表面；

所述加热器压片和六角螺母设置于三仓焊接件表面，用于固定所述铠装加热器1、铠装加热器2、铠装热电偶1、铠装热电偶2。

7.根据权利要求5所述真空换料水平直线蒸镀源，其特征在于：所述升华仓加热装置包括隔热垫、固定架、压片、隔套、冷却管、铠装加热器3、升华仓加热装置框架、铠装热电偶3、内六角圆柱头螺钉1、内六角圆柱头螺钉2、内六角圆柱头螺钉3、内六角平端紧定螺钉、平垫圈、弹簧垫圈。

所述升华仓加热装置框架主要由底盘、支杆、顶板和热电偶固定块2焊接而成；

所述隔热垫设置于升华仓加热装置框架下方；

所述隔套设置于升华仓加热装置框架底盘外侧；

所述铠装加热器3设置于升华仓加热装置框架支杆外侧；

所述冷却管设置于铠装加热器3外侧；

所述固定架设置于隔套外侧，由内六角圆柱头螺钉3连同平垫圈、弹簧垫圈、隔套、冷却管旋紧连接于升华仓加热装置框架底盘外侧；

所述铠装热电偶3设置于升华仓加热装置框架支杆内侧，由内六角平端紧定螺钉旋紧连接于热电偶固定块2；

所述压片设置于升华仓加热装置框架底盘下方，用于固定所述铠装加热器3。