[发明专利]真空换料水平直线蒸镀源

说明书

技术领域

本发明属于真空技术领域，具体用于真空镀膜设备。

背景技术

目前在真空镀膜生产中，真空蒸发技术已成为主要的技术之一。其原理为：将膜材置于真空中，通过蒸发源加热使其蒸发，蒸气的原子或分子从蒸发源表面逸出，到达被镀的基片表面上，凝结后形成薄膜。根据所镀薄膜的种类的不同，此技术涉及到太阳能、电子产品、日用品等行业，相关的蒸发镀膜设备也发展迅速。其中蒸镀源部分是镀膜系统的核心。因此蒸镀源的设计制造能力对于整套镀膜设备的开发起到了至关重要的作用。传统的蒸发源无法在线更换或补给原料，无法实现连续化生产。同时采用的是单一加热方式，蒸发温度和蒸发速率难以控制。因此，需要对其进行改进。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述问题，提出一种真空换料水平直线蒸镀源，该真空换料水平直线蒸镀源克服了上述问题。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：一种真空换料水平直线蒸镀源，包括升华仓储存真空室及其真空系统、升华仓更换及补给系统、装置控制系统、蒸镀源室及其加热屏蔽系统，其特征在于：采用水平直线下喷式蒸镀，蒸镀源室和升华仓储存室两部分，两部分之间以气动插板阀隔离，可以手动补充新升华仓而不影响生产线的运行。

所述升华仓储存真空室及其真空系统包括真空腔室、室门、观察窗、充气阀、分子泵、机械泵、真空测量计；

所述真空腔室为焊接件；

所述室门、观察窗、充气阀、分子泵、真空测量计设置于真空腔室四周；

所述机械泵设置于分子泵后方。

所述升华仓更换及补给系统包括升降及锁紧系统、高度调整系统、升华仓换位系统、升华仓、气动插板阀、手动挡板；

所述升降及锁紧系统设置于真空腔室上方；

所述高度调整系统设置于真空腔室下方；

所述升华仓换位系统、升华仓设置于真空腔室内部下方；

所述气动插板阀设置于高度调整系统下方；

所述手动挡板设置于插板阀下方。

所述装置控制系统包括升华仓换位控制、升华仓升降控制、升华仓锁紧控制、气动插板阀开关控制、加热及温度控制；

所述升华仓换位控制、升华仓升降控制、升华仓锁紧控制、气动插板阀开关控制设置于升降系统侧方；

所述加热及温度控制设置于真空腔室外侧。

所述蒸镀源室及其加热屏蔽系统包括升华仓加热装置、三仓加热系统、热屏蔽系统。

所述升华仓加热装置设置于气动插板阀下方；

所述三仓加热系统设置于升华仓加热装置下方；

所述热屏蔽系统设置于升华仓加热装置、三仓加热系统外侧。

所述三仓加热系统包括加热器压片、热电偶固定块1、喷口板、三仓焊接件、升华仓加热装置、铠装加热器1、铠装加热器2、铠装热电偶1、铠装热电偶2、六角螺母、十字槽沉头螺钉、十字槽盘头螺钉、内六角平端紧定螺钉。

所述三仓焊接件主要由三仓组件吊板、分配仓焊接件、均压仓焊接件和喷口仓焊接件焊接而成；

所述分配仓焊接件主要由分配仓、分配仓连接座焊接而成；

所述均压仓焊接件主要由均压仓、均压仓封盖、均压仓弯板焊接而成；

所述喷口仓焊接件主要喷口仓弯板、喷口板固定板焊接而成；

所述升华仓加热装置设置于三仓焊接主体上方，由4个内六角圆柱头螺钉1旋紧连接；

所述喷口板设置于三仓焊接件主体下方，由24个十字槽盘头螺钉旋紧连接；

所述热电偶固定块1和十字槽沉头螺钉配焊于三仓焊接件表面；

所述铠装加热器1、铠装加热器2、铠装热电偶1、铠装热电偶2设置于三仓焊接件表面；

所述加热器压片、内六角平端紧定螺钉和六角螺母设置于三仓焊接件表面，用于固定所述铠装加热器1、铠装加热器2、铠装热电偶1、铠装热电偶2。

所述升华仓加热装置包括隔热垫、固定架、压片、隔套、冷却管、铠装加热器3、升华仓加热装置框架、铠装热电偶3、内六角圆柱头螺钉1、内六角圆柱头螺钉2、内六角圆柱头螺钉3、内六角平端紧定螺钉、平垫圈、弹簧垫圈。

所述升华仓加热装置框架主要由底盘、支杆、顶板和热电偶固定块2焊接而成；

所述隔热垫设置于升华仓加热装置框架下方；

所述隔套设置于升华仓加热装置框架底盘外侧；

所述铠装加热器3设置于升华仓加热装置框架支杆外侧；

所述冷却管设置于铠装加热器3外侧；