[发明专利]一种DRC结果审查时自动截图的方法有效

专利信息
申请号: 201310045943.1 申请日: 2013-02-05
公开(公告)号: CN103970921B 公开(公告)日: 2017-09-01
发明(设计)人: 魏靖恒 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京市磐华律师事务所11336 代理人: 董巍,高伟
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 drc 结果 审查 自动 截图 方法
【权利要求书】:

1.一种DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述方法包括:

步骤S101:按照分类排序方法对DRC检查结果自动进行截图操作,其中,每一次截图都按照设计规则的名称调取预定数据库的内容,以使每条所述设计规则自动找到相关层从而保证截图时只打开版图的相关层,所述预定数据库是之前已经建立的数据库;

步骤S102:按照预定的标注方法对所截图片自动进行尺寸标注;

步骤S103:利用经尺寸标注的所截图片和所述DRC检查结果,自动生成DRC结果报告,所述DRC结果报告包括规则名称、规则描述、违反值个数、违反值类型、违反值数值和经尺寸标注过的所截图片。

2.如权利要求1所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述预定数据库是根据DRC检查结果建立的关于每个技术节点的每条设计规则的相关层的数据库。

3.如权利要求2所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,建立所述预定数据库的方法包括:

步骤S1:使用工具软件对不同技术节点的设计规则脚本里的每一条设计规则在检查时所使用到的层进行分析;

步骤S2:针对所述步骤S1的结果,建立关于每个技术节点的每条设计规则的相关层的数据库。

4.如权利要求3所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述步骤S2包括:

针对所述步骤S1的结果,按如下规则建立所述数据库:

a.对于产品前段设计规则检查,相关层都包含有源区层、栅极层和接触孔层;

b.对于产品后段设计规则检查,每层第n层金属层截图时,如果只是当前层检查,则相关层不变,否则均显示第n-1层金属层、第n+1层金属层、第n-1层过孔层及第n层过孔层;

c.对于产品后段设计规则检查,每层第n层过孔层截图时,均显示第n-1层金属层及第n层金属层;

d.在所有设计规则中,均不显示非光罩层。

5.如权利要求1所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,在所述步骤S101中,每个技术节点的每条设计规则按照如下顺序对所述相关层进行截图:

对于违反值有距离值的设计规则,按照距离值进行排序,再按照图形形状分类,距离值相等且图形形状相同的违反值截图一次;

对于违反值没有距离值的但有面积值的设计规则,按照面积值进行排序,再按照图形形状分类,面积值相等且图形形状相同的违反值截图一次;

对于违反值既没有距离值也没有面积值的设计规则,按照图形形状分类,图形形状相同的违反值截图一次。

6.如权利要求1所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,在所述步骤S101中,按照如下规则确定对所述相关层进行截图的数量:

以违反值的面积为基础,以2的2m次方为级数向违反值四周延伸,以1/2的2n次方为级数向违反值内部缩小;

其中,m和n为自然数,m和n可以根据需要任意选取,但应保证所截图片同时具有实际值、放大值和缩小值。

7.如权利要求1所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,在所述步骤S101中,还包括生成用来表示所截图片中相关层的名称的图片的步骤。

8.如权利要求1所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,在所述步骤S102中,所述预定的标注方法包括:

对于违反值有距离值的设计规则,在所截图片中标注标尺及距离值;

对于违反值没有距离值的但有面积值的设计规则,在所截图片中标注标尺及面积值;

对于违反值既没有距离值也没有面积值的设计规则,在所截图片中标注标尺及边缘长度值。

9.如权利要求1所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述DRC结果报告包括:规则名称、规则描述、违反值个数、违反值类型、违反值数值和所截图片。

10.如权利要求9所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述DRC结果报告还包括图层标记。

11.如权利要求1~10任一项所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述相关层是指每个技术节点的每条设计规则在结果审查时需要同时被打开进行审查的层的集合。

12.如权利要求1~10任一项所述的DRC结果审查时自动截图的方法,其特征在于,所述DRC检查结果由工具软件自动生成。

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