[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法有效
| 申请号： | 201310046137.6 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN103240215A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 冈本俊一;内泻外茂夫;奥田大辅 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 吴京顺;任晓航 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 方法 | ||
1.一种减压干燥装置，包括：
腔室部，收纳基板；
排气装置，排出所述腔室部内的气体；
回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；
第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置，
其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却而被液化后回收，
其特征在于，
该减压干燥装置进一步设有第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置。
2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，该装置还具有切换部，对在所述排气装置排出所述腔室部内的气体时经由的配管在所述第一配管和第二配管之间进行切换。
3.一种减压干燥方法，利用下述减压干燥装置，该装置包括：
腔室部，收纳基板；
排气装置，排出气体；
回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；
第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置，
第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置，
其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却而被液化后回收，
其特征在于，该方法包括：
不回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第二配管排气而将涂布液进行干燥；
回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第一配管排气而将涂布液进行干燥。
4.根据权利要求3所述的减压干燥方法，其特征在于，进行所述不回收干燥工序后，针对在所述排气装置排出所述腔室部内的气体时经由的配管，从所述第二配管切换到所述第一配管，并继续进行所述回收干燥工序。
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