[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法

说明书

技术领域

本发明涉及减压干燥装置和减压干燥方法，其中，对于涂布了涂布液的基板，通过在减压环境下使涂布液中的溶剂挥发而使涂布液干燥，并且进一步将挥发的溶剂液化而进行回收。

背景技术

在液晶显示器或者等离子体显示器等平板显示器中，使用涂布了抗蚀剂液的基板（称之为涂布基板）。在该涂布基板的生产工序中，首先，用涂布装置在基板上均匀地涂布抗蚀剂液，由此在基板上形成涂布膜，然后，通过例如被称为减压干燥装置的干燥装置使涂布膜干燥。

该减压干燥装置按照如下的方式进行干燥，即，在基板被收纳于腔室内的状态下，通过降低腔室内的压力来使涂布基板上的涂布液干燥。具体而言，在涂布基板内置于腔室内的状态下，将腔室内的空气向外部排气而使腔室内处于减压环境，由此包含在涂布基板上的涂布液的溶剂挥发，从而涂布液干燥。

在此，下述的专利文献1中记载了如下的内容，即，在腔室的外部设置溶剂液化装置，对在腔室内产生的溶剂蒸气通过在溶剂液化装置内进行冷却而使之液化，然后用回收箱进行回收。通过在减压干燥装置的排气机构中利用该方法，将所回收的溶剂能够再利用于清洗涂布装置的喷嘴或者配管等上，可以降低成本。另外，还能够减轻溶剂附着于排气机构的真空泵等排气设备的情况，从而减轻排气设备的负荷。

现有技术文献

专利文献1

特开2005-5469号公报

发明内容

但是，在上述专利文献1中记载的溶剂回收方法中，在所回收的液体中除了包含溶剂之外还包含水分，因此存在无法得到高纯度的溶剂的问题。具体而言，不仅在腔室内产生的溶剂蒸气，还有腔室内的空气也通过排气流入到溶剂液化装置，如果该空气在溶剂液化装置中被冷却，则包含空气的水蒸气被液化而变成水，因此这些水与溶剂混在一起而被贮存在回收箱中。因此，溶剂如果是与水难以分离的物质，则通过这样的回收方法可能无法得到高纯度的溶剂。

另外，如果为了提高溶剂回收效率而将溶剂液化装置内的温度设定在冰点以下，则空气中包含的水蒸气经过液化可能在溶剂液化装置内结冰，因此冷却效率会下降，或者溶剂液化装置和回收箱之间的配管有可能会堵住。

鉴于存在上述的现有技术问题，本发明的目的在于提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，在减压干燥基板上的涂布液的同时能够减少水分的混入而进行溶剂的回收。

为了解决上述课题，本发明的减压干燥装置包括：腔室部，收纳基板；排气装置，排出所述腔室部内的气体；回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收，其特征在于，还进一步设置有第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置。

根据上述减压干燥装置，通过进一步设置有途中不经由回收装置的第二配管，与仅仅使用第一配管的情况相比，能够减少水分的混入而进行回收。即，通过还使用第二配管进行涂布液的干燥，能够使包含在腔室部内的气体中的水分中流入到第一配管和回收装置的量变少。另外，由于向回收装置混入的水分的量少，因此能够防止回收装置结冰。

另外，优选的是，所述排气装置还具有切换部，对在排气装置排出所述腔室部内的气体时经由的配管在所述第一配管和第二配管之间进行切换。

通过进一步具有这样的切换部，与使用第一配管时还一起使用第二配管的情况相比，能够增加溶剂的回收量。即，当腔室部内的气体中包含的水分多时只使用第二配管，之后切换到第一配管后进行腔室部内部的减压干燥，由此切换到第一配管时能够使腔室部内的气体全部流入到回收装置，因此能够增加溶剂的回收量。

另外，为了解决上述课题的本发明的减压干燥方法，利用下述减压干燥装置，该装置包括：腔室部，收纳基板；排气装置，排出气体；回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置；第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置，其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收，其特征在于，该方法包括：不回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第二配管排气而将涂布液进行干燥；回收干燥工序，将所述腔室部内部的气体经由所述第一配管排气而将涂布液进行干燥。