[发明专利]用于降低红外反射噪声的重影的红外反射/吸收层及使用其的图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，其包括：

感光层，其用于接收红外辐射、检测所述红外辐射并产生代表所述红外辐射的电信号；

重新分配层，其位于所述光层之下，所述重新分配层包括一种图案化的导体，用于接收所述电信号；

多个导电焊垫，其位于所述重新分配层之下，每个导电衬垫电气连接至所述图案化的导体的导体；以及

红外吸收层，其位于所述感光层与所述重新分配层之间，所述红外吸收层吸收所述红外辐射以使所述红外辐射的主体部分不会碰到所述重新分配层。

2.如权利要求1所述的图像传感器，其中，所述红外吸收层包括多层的不同材料。

3.如权利要求1所述的图像传感器，其中，所述红外吸收层包括在复合的金属-介电材料-金属夹层结构中的多层材料，所述复合的金属-介电材料-金属夹层结构包括位于第一金属层与第二金属层之间的介电层。

4.如权利要求3所述的图像传感器，其中，所述第一金属层与所述第二金属层具有不同的厚度。

5.如权利要求3所述的图像传感器，其中，所述红外辐射穿过所述第一金属层，并利用在所述第一金属层及所述第二金属层之间的共振形成驻波。

6.如权利要求3所述的图像传感器，其中，金属层及介电层的参数是如此选择的，使得在所述红外辐射穿过所述第一金属层时，所述红外辐射利用在所述第一金属层与所述第二金属层之间的共振形成驻波。

7.如权利要求6所述的图像传感器，其中，所选择的参数包括所述第一金属层的材料类型、所述第二金属层的材料类型、所述介电层的材料类型、所述第一金属层厚度、所述第二金属层厚度以及所述介电层厚度中的至少一个。

8.如权利要求3所述的图像传感器，其中，所述第一金属层与所述第二金属层中的至少一个包括铬和镍中的至少一种。

9.如权利要求3所述的图像传感器，其中，所述介电层包括SiO₂。

10.如权利要求1所述的图像传感器，其中，所述红外吸收层包括单一金属层。

11.如权利要求10所述的图像传感器，其中，所述单一金属层包括铬和镍中的至少一种。

12.如权利要求1所述的图像传感器，其中，所述红外吸收层包括复合的三层构造。

13.如权利要求12所述的图像传感器，其中，所述复合的三层构造为SiO₂-Cr₂O₃-SiO₂三层构造、SiO₂-TaN-SiO₂三层构造以及Cr-CrO_x-CrO_xN_y三层构造中的至少一种。

14.如权利要求1项所述的图像传感器，其中，所述红外吸收层包括复合的双层构造。

15.如权利要求14所述的图像传感器，其中，所述复合的双层构造为Si₃N₄-TaN双层构造以及SiC-SiO₂双层构造中的至少一种。

16.如权利要求1所述的图像传感器，其中，所述红外吸收层包括单一的非金属层。

17.如权利要求16所述的图像传感器，其中，所述单一的非金属层包括Cr₂O₃、CrSiO、Ni_xO_y、碳黑以及黑色无机材料中的至少一种。

18.如权利要求1所述的图像传感器，其还包括在所述感光层上面的、用于吸收辐射的黑色光阻层。

19.如权利要求18所述的图像传感器，其中，所述黑色光阻层覆盖所述感光层的无源区域。

20.如权利要求1所述的图像传感器，其还包括在所述感光层之下的、用于吸收辐射的黑色光阻层。

21.如权利要求1所述的图像传感器，其中，所述红外辐射为波长范围在900–1200nm的近红外光。

22.如权利要求18所述的图像传感器，所述感光层包括由黑色光阻层覆盖的多个外部画素透镜，第一多个画素透镜的部分在两个外部画素透镜之间。