[发明专利]部件检查装置以及处理器

权利要求书

1.一种部件检查装置，其特征在于，具有：

载置输送对象并冷却该输送对象的载置部；

从所述载置部对载置于所述载置部的输送对象进行输送的输送机器人；以及

检查所述输送对象的检测器，

所述输送机器人具备：

对载置于所述载置部的输送对象进行保持的保持部；

使所述保持部离开所述载置部的臂；

在所述保持部离开所述载置部的状态下将所述保持部与所述输送对象一起容纳的容纳体；以及

向所述容纳体内供给干燥的气体的干燥气体供给部。

2.根据权利要求1所述的部件检查装置，其特征在于，

将所述容纳体作为第一容纳体，

具备容纳所述载置部的容纳体亦即第二容纳体，

使所述第一容纳体与所述第二容纳体连接。

3.一种处理器，其特征在于，具备：

载置输送对象并冷却该输送对象的载置部；和

从所述载置部对载置于所述载置部的输送对象进行输送的输送机器人，

所述输送机器人具备：

对载置于所述载置部的输送对象进行保持的保持部；

使所述保持部离开所述载置部的臂；

在所述保持部离开所述载置部的状态下将所述保持部和所述输送对象一起容纳的容纳体；以及

向所述容纳体内供给干燥的气体的干燥气体供给部。

4.根据权利要求3所述的处理器，其特征在于，

将所述容纳体作为第一容纳体，

将所述干燥气体供给部作为第一干燥气体供给部，

具有：容纳所述载置部的容纳体亦即第二容纳体；和

向所述第二容纳体内供给干燥的气体的第二干燥气体供给部。

5.根据权利要求4所述的处理器，其特征在于，

所述载置部具有供制冷剂流动的流路，

所述第二干燥气体供给部将从所述载置部的所述流路排出的所述制冷剂作为所述干燥的气体而供给至所述第二容纳体。

6.根据权利要求5所述的处理器，其特征在于，

所述第二干燥气体供给部具有干燥气体加热部，该干燥气体加热部对从所述载置部的所述流路排出的所述制冷剂进行加热。

7.根据权利要求4～6中任意一项所述的处理器，其特征在于，

所述第一容纳体和所述第二容纳体具有开口部，该开口部用于供所述保持部以及保持于所述保持部的输送对象通过。

8.根据权利要求7所述的处理器，其特征在于，

将所述第一容纳体的开口部作为第一开口部，

将所述第二容纳体的开口部作为第二开口部，

所述第一容纳体具有覆盖所述第一开口部的第一盖部，

所述第二容纳体具有覆盖所述第二开口部的第二盖部，

在所述保持部通过所述第一开口部时所述第一盖部敞开，

在所述保持部通过所述第二开口部时所述第二盖部敞开。

9.根据权利要求3～8中任意一项所述的处理器，其特征在于，

将所述容纳体作为第一容纳体，

将所述干燥气体供给部作为第一干燥气体供给部，

具有检测所述第一容纳体内的气体的性状的传感器，

基于所述传感器的检测结果来改变从所述第一干燥气体供给部向所述第一容纳体供给的所述干燥的气体的流量。