[发明专利]部件检查装置以及处理器

说明书

技术领域

本发明涉以及部件检查装置以及处理器。

背景技术

以往在针对半导体设备等各种设备的电气特性检查中，广泛使用由处理器来输送作为输送对象的设备的部件检查装置。在部件检查装置中，设备的检查是在适合各设备的使用环境的温度下进行的，例如不少是在0℃以下的低温环境下进行。在进行这样的低温环境下的检查的部件检查装置中，例如如专利文献1所述，搭载有用于冷却设备的恒温槽以及冷却并检查设备的检测器。并且，在部件检查装置中，在恒温槽中冷却至规定温度的设备被输送到检测器，来进行低温下的检查。

专利文献1：日本特开2004-347329号公报

然而，部件检查装置一般被设置于保持为常温的环境中，因此当从恒温槽运出的设备被输送至检测器时，在设备的表面与外部空气之间会产生温度差，从而在设备表面出现结露现象。因此，为了避免设备表面的结露，在专利文献1所述的部件检查装置中形成有用于容纳恒温槽、检测器以及设备的输送空间的腔室。并且，向该腔室内供给被干燥至不会因上述温度差而产生结露的程度的空气。由此，虽然能够抑制输送设备时在设备的表面产生结露，但是由于需要向上述腔室供给干燥气体，因此不得不增加干燥气体的消耗量。

发明内容

本发明是鉴于该实际情况而产生的，其目的在于提供能够在对输送对象进行输送时控制所消耗的干燥气体的量并防止在输送对象上产生结露现象的部件检查装置以及处理器。

为了解决上述课题，本发明的部件检查装置的一个方式具有：载置输送对象并冷却该输送对象的载置部；从所述载置部对载置于所述载置部的输送对象进行输送的输送机器人；以及检查所述输送对象的检测器，所述输送机器人具备：对载置于所述载置部的输送对象进行保持的保持部；使所述保持部离开所述载置部的臂；在所述保持部离开所述载置部的状态下将所述保持部与所述输送对象一起容纳的容纳体；以及向所述容纳体内供给干燥的气体的干燥气体供给部。

本发明的处理器的一个方式具备：载置输送对象并冷却该输送对象的载置部；和从所述载置部对载置于所述载置部的输送对象进行输送的输送机器人，所述输送机器人具备：对载置于所述载置部的输送对象进行保持的保持部；使所述保持部离开所述载置部的臂；在所述保持部离开所述载置部的状态下将所述保持部和所述输送对象一起容纳的容纳体；以及向所述容纳体内供给干燥的气体的干燥气体供给部。

根据本发明的部件检查装置的一个方式以及处理器的一个方式，对在载置部被冷却后的输送对象进行输送的输送机器人具有用于对保持于保持部的输送对象进行容纳的容纳体，并向该容纳体的内部供给干燥的气体。因此，在由输送机器人对输送对象进行输送时，输送对象保持在被供给有干燥的气体的空间内，从而能够抑制输送对象与容纳体外侧的气体接触。因此，即使不向用于输送冷却后的输送对象的空间整体供给干燥气体，在输送输送对象时，也能够抑制在输送对象的表面产生的结露。

本发明的部件检查装置的其他方式构成为，将所述容纳体作为第一容纳体，具备容纳所述载置部的容纳体亦即第二容纳体，使所述第一容纳体与所述第二容纳体连接。

根据本发明的部件检查装置的其他方式，因为容纳载置部的第二容纳体与容纳输送对象和保持部的第一容纳体连接，所以能够进一步抑制输送对象与容纳体以及容纳箱的外侧的气体接触。因此能够进一步抑制在输送对象表面产生的结露。

本发明的处理器的其他方式构成为，将所述容纳体作为第一容纳体，将所述干燥气体供给部作为第一干燥气体供给部，具有：容纳所述载置部的容纳体亦即第二容纳体；和向所述第二容纳体内供给干燥的气体的第二干燥气体供给部。

根据本发明的处理器的其他方式，也向容纳载置部的第二容纳体的内部供给干燥的气体。因此，在由载置部冷却输送对象时，被冷却的输送对象被保持在供给有干燥的气体的空间内，因此输送对象难以与第二容纳体的外侧的气体接触。因此，由于输送对象在冷却时和输送时的两者的情况下都被保持在供给有干燥的气体的空间中，从而更难以在输送对象的表面产生结露。

本发明的处理器的其他方式构成为，所述载置部具有供制冷剂流动的流路，所述第二干燥气体供给部将从所述载置部的所述流路排出的所述制冷剂作为所述干燥的气体而供给至所述第二容纳体。