[发明专利]一种构建Zernike多项式像差模式与Walsh函数像差模式之间系数转换矩阵的方法有效

专利信息
申请号: 201310048842.X 申请日: 2013-02-07
公开(公告)号: CN103162846B 公开(公告)日: 2015-02-18
发明(设计)人: 王帅;杨平;许冰;刘文劲;雷翔;晏虎;董理治;高源;程生毅 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01J9/00 分类号: G01J9/00
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 成金玉;卢纪
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 构建 zernike 多项式 模式 walsh 函数 之间 系数 转换 矩阵 方法
【权利要求书】:

1.一种构建Zernike多项式像差模式与Walsh函数像差模式之间系数转换矩阵的方法, 其特征在于通过以下步骤实现:

步骤1:确定待测波前中包含的Zernike多项式项数NZ与Walsh函数阶数NW,其中 NW>NZ,且NW=4k,k为正整数;生成各项Zernike多项式和各阶Walsh函数的二维矩阵, 矩阵大小为M×N,M、N均为正整数,由于波前展开一般都在方形定义域上,因此M、N 一般情况下取值相等;分别将各项Zernike多项式和各阶Walsh函数二维矩阵改写成1×(M ×N)的一维向量形式Zi,即第i项Zernike多项式向量,i∈[1,NZ]和Wl即第l阶Walsh函数 向量,l∈[0,NW-1];

步骤2:用NW阶Walsh函数作为波前展开的像差模式分别展开各项Zernike多项式 其中为第i项Zernike多项式展开的第l阶Walsh函数系数,εi为对 应的展开误差向量,由此得到Zernike多项式与Walsh函数关系矩阵:

Z=A·W+ε   (1)

Z为NZ项Zernike多项式向量矩阵,A为NZ项Zernike多项式NW阶Walsh函数展开的系数 矩阵,W为NW阶Walsh函数向量矩阵,ε为NZ项Zernike多项式用NW阶Walsh函数展开 的展开误差向量矩阵;

步骤3:求解上述方程中的系数矩阵A,采用矩阵W的广义逆W+表示:

A=Z·W+     (2)

矩阵A即为NZ项Zernike多项式像差模式系数CZ与NW阶Walsh函数像差模式系数CW之间 的转换矩阵,CZ为1×NZ向量,CW为1×NW向量,有:

CW=CZ·A,CZ=CW·A+     (3)

利用矩阵A和矩阵A的广义逆A+,根据式(3)的两个关系式,即可在确定某个波前相位用NW阶Walsh函数像差模式展开的系数向量的情况下,直接求出同一波前用NZ项Zernike多项式 像差模式展开的系数向量,从而以连续形式重构待测波前信息;反之,当测得某个波前相位 中包含的各项Zernike多项式像差模式的系数信息时,可以直接求出该波前相位中各阶Walsh 函数像差模式的系数成分;

步骤4:根据需求确定是否要用最少和最优的Walsh函数序列的系数信息复原波前相位 中各项Zernike多项式像差模式的系数向量,若不需要则用步骤3中的矩阵A即为最终的系 数转换矩阵;若需要,则继续执行以下步骤;

步骤5:从步骤3中的系数矩阵A中选出最优的NZ阶Walsh函数,用该NZ阶Walsh函 数重新构建步骤2中的关系矩阵:

Z=A′·W′+ε′   (4)

式中W′表示选出的NZ阶Walsh函数向量矩阵,A′为NZ项Zernike多项式用NZ阶Walsh函 数像差模式展开的系数矩阵,ε′为NZ项Zernike多项式用NZ阶Walsh函数像差模式展开的 展开误差向量矩阵;

所述步骤5中的最优的NZ阶Walsh函数通过以下步骤选出:

步骤a:系数矩阵A的第一行表示第1项Zernike多项式像差模式用NW阶Walsh函数像 差模式展开的系数向量,找出其中展开系数绝对值的最大值(其中第1列忽略,忽略第0阶 Walsh函数),该系数对应的Walsh函数在展开项中所占比重最大,将该阶Walsh函数放入 最优展开的阶数序列中,并且将系数矩阵A中该最大值所在列的所有值均置为0,以避免该 阶Walsh函数被重复选出;

步骤b:对第2项至第NZ项Zernike多项式的Walsh函数像差模式展开系数向量重复上 述步骤a的过程,直至选出最优的NZ阶Walsh函数;

步骤c:将选出的NZ阶Walsh函数按阶数从小到大依次排序;

步骤6:方程(4)的系数矩阵A′的解采用矩阵W′的广义逆(W′)+表示:

A′=Z·(W′)+     (5)

矩阵A′即为NZ项Zernike多项式像差模式系数CZ与选出的NZ阶Walsh函数像差模式系数 C′W之间的转换矩阵,CZ、C′W均为1×NZ向量,有:

C′W=CZ·A′,CZ=C′W·(A′)+     (6)

利用矩阵A′和矩阵A′的广义逆(A′)+和式(6)的两个关系式,若确定某个波前相位的该NZ阶 Walsh函数展开的系数向量C′W,即可求出同一波前的NZ项Zernike多项式展开系数向量CZ, 由于Zernike多项式是连续形式的,最终实现在测得离散的Walsh函数像差模式系数的情况 下,仍可用常见的连续形式表示波前相位,反之,根据波前相位中NZ项Zernike多项式像差 模式的系数向量CZ,求出该波前相位用NZ阶Walsh函数像差模式展开的展开系数向量C′W

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