[发明专利]光束产生装置

权利要求书

1.一种光束产生装置，其特征在于，包括：

激光光源，输出激光束；

散斑抑制模块，包括：

第一柱状透镜，配置于该激光束的传递路径上；

扩散器，配置于来自该第一柱状透镜的该激光束的传递路径上；以及

第二柱状透镜，配置于来自该扩散器的该激光束的传递路径上；

光均匀化模块，配置于来自该第二柱状透镜的该激光束的传递路径上；以及

驱动单元，驱使该扩散器相对该激光束运动，以使从该第二柱状透镜出射的该激光束在第一方向上的光束参数乘积比值相对于在第二方向上的光束参数乘积比值的比值大于2，其中该第一方向垂直于该第二方向。

2.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该第一柱状透镜的曲面以及该第二柱状透镜的曲面在该第一方向上不弯曲，且在该第二方向上弯曲。

3.根据权利要求2所述的光束产生装置，其特征在于，该第一柱状透镜的曲面朝向该激光光源，且该第二柱状透镜的曲面朝向该光均匀化模块。

4.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该激光束为一脉冲激光束，且该激光束的脉冲重复频率与该扩散器被该激光束照射处的平均运动速率的比值小于或等于500。

5.根据权利要求4所述的光束产生装置，其特征在于，还包括控制单元，电性连接至该激光光源与该驱动单元。

6.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该激光束的波长是落在100纳米至1000微米的范围内。

7.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该驱动单元驱使该扩散器旋转。

8.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该驱动单元驱使该扩散器来回平移振动。

9.根据权利要求8所述的光束产生装置，其特征在于，该扩散器沿该第一方向来回平移振动。

10.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该光均匀化模块包括：

第一柱状透镜阵列，配置于来自该第二柱状透镜的该激光束的传递路径上；

第二柱状透镜阵列，配置于来自该第一柱状透镜阵列的该激光束的传递路径上。

11.根据权利要求10所述的光束产生装置，其特征在于，该第一柱状透镜阵列包括多个第一微柱状透镜，每一该第一微柱状透镜沿着该第二方向延伸，该多个第一微柱状透镜沿着该第一方向排列，该第二柱状透镜阵列包括多个第二微柱状透镜，每一该第二微柱状透镜沿着该第二方向延伸，且该多个第二微柱状透镜沿着该第一方向排列。

12.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该光束产生装置还包括聚光透镜与第三柱状透镜，该聚光透镜配置于该激光束的传递路径上，且位于该光均匀化模块与该第三柱状透镜之间。

13.根据权利要求12所述的光束产生装置，其特征在于，该激光束在经过该光均匀化模块、该聚光透镜与该第三柱状透镜后产生出一线型光斑，该线型光斑的长轴长度为L，且该线型光斑的短轴长度为W，且该扩散器具有呈周期性排列的多个微结构，该激光束在该第一柱状透镜与该第二柱状透镜之间具有一光束腰，该扩散器位于该光束腰与该第二柱状透镜之间，该多个微结构的顶部与该光束腰相隔一距离d，该多个微结构的节距为p，其中L/W正比于p/d。

14.根据权利要求12所述的光束产生装置，其特征在于，该第三柱状透镜的曲面朝向该散斑抑制模块。

15.根据权利要求12所述的光束产生装置，其特征在于，该第三柱状透镜阵列的曲面在该第一方向上不弯曲，且在该第二方向上弯曲。

16.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，还包括：

扩束单元，配置于该激光束的传递路径上，且位于该激光光源与该散斑抑制模块之间。

17.根据权利要求1所述的光束产生装置，其特征在于，该激光光源为连续波式激光光源。