[发明专利]光束产生装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种光束产生装置。

背景技术

激光束具有良好的准直性、高的功率以及光强度，因此激光束产生装置在现代工业上有着很广泛的应用，例如实验室用的高准直光源、汇报时所用的激光笔、读取或刻录光盘时所采用的激光光源、激光鼠标所采用的激光光源、各种测量仪器的激光光源、显示领域的激光光源、光纤通信中的激光源、甚至是生物医学领域的仪器的激光光源等。

由于激光光源所发出的激光束具有高同调性，因此当激光束照射不平滑的物体表面(例如透镜、反射器等)时，来自物体表面的激光束产生干涉(interference)，而在被照射面上产生散斑(speckle)。散斑是一种不规则的噪声状图案(例如是不规则的亮暗杂点)，其会导致被照射面上的照度不均匀，造成应用此激光光源的装置的光学质量下降。

发明内容

本发明的一实施例提供了一种光束产生装置，包括激光光源、散斑抑制模块、光均匀化模块以及驱动单元。激光光源输出激光束。散斑抑制模块包括第一柱状透镜、扩散器以及第二柱状透镜。第一柱状透镜配置于激光束的传递路径上。扩散器配置于来自第一柱状透镜的激光束的传递路径上。第二柱状透镜配置于来自扩散器的激光束的传递路径上。光均匀化模块配置于来自第二柱状透镜的激光束的传递路径上。驱动单元驱使扩散器相对激光束运动，以使从第二柱状透镜出射的激光束在第一方向上的光束参数乘积比值相对于在第二方向上的光束参数乘积比值的比值大于2，其中第一方向实际上垂直于第二方向。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1A为本发明一实施例的光束产生装置的上视示意图。

图1B为图1A的光束产生装置的侧面示意图。

图2A为图1A中散斑抑制模块的放大示意图。

图2B为图1B中散斑抑制模块的放大示意图。

图3A绘示图2A及图2B的扩散器的上视示意图。

图3B及图3C绘示扩散器的微结构的其他实施形式。

图4A及图4B为扩散器在未相对激光束运动下，在第一方向上及第二方向上的激光束强度-与激光束中心轴的位置的曲线。

图5为扩散器相对激光束运动下，在第一方向上的激光束强度-与激光束中心轴的位置的曲线。

图6A及图6B绘示扩散器在未相对激光束运动下，在第一方向上及第二方向上的线型光斑强度-与线型光斑中心轴的位置的曲线。

图7A及图7B绘示扩散器在相对激光束运动下，在第一方向上及第二方向上的线型光斑强度-与线型光斑中心轴的位置的曲线。

【主要元件符号说明】

100：光束产生装置；

110：激光光源；

120：散斑抑制模块；

122：第一柱状透镜；

124：扩散器；

124a、124b、124c：微结构；

126：第二柱状透镜；

130：光均匀化模块；

132：第一柱状透镜阵列；

132a：第一微柱状透镜；

134：第二柱状透镜阵列；

134a：第二微柱状透镜；

140：驱动单元；

150：扩束单元；

160：聚光透镜；

170：第三柱状透镜；

180：被照射物；

190：控制单元；

10：线型光斑；

A：光束腰；

B1、B2、B3、B4、B5、B6、B7、B8、B9：激光束；

d：距离；

p：节距；

O：中心轴；

D：作用宽度；

L：长轴长度；

W：短轴长度；

X：第一方向；

Y：第二方向。

具体实施方式

图1A为本发明一实施例的光束产生装置的上视示意图。图1B为图1A的光束产生装置的侧面示意图。请参照图1A及图1B，本实施例的光束产生装置100包括激光光源110、散斑抑制模块120、光均匀化模块130以及驱动单元140。激光光源110输出激光束B1。在本实施例中，激光束B1例如是脉冲激光束。