[发明专利]异质结电池及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，更具体地说，涉及一种异质结电池及其制作方法。

背景技术

太阳能电池是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品，不会引起环境污染，而且利用的是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池具有广阔的发展前景。

太阳能电池的种类多种多样，其中，异质结电池以其制备工艺温度低、转换效率高、成本低等优点受到业内越来越多的青睐。传统的异质结电池其结构如图1所示，从上至下依次为：正面栅线105、正面TCO（透明导电薄膜）102、正面钝化掺杂薄膜101、衬底100、背面钝化掺杂薄膜103、背面TCO104及背面电极层106。

衡量太阳能电池电性能好坏的一个最重要的标准就是其光电转换效率，太阳能电池的光电转换效率越高，说明其把光能转换成电能的能力越强，异质结电池也不例外。但是，常规的异质结电池的光电转换效率仍有待提高。

发明内容

本发明提供一种异质结电池及其制作方法，以提高异质结电池的光电转换效率。

为实现上述目的，本发明实施例提供了如下技术方案：

一种异质结电池，包括：衬底；位于所述衬底下表面的钝化掺杂层和位于所述钝化掺杂层下表面的导电层，所述钝化掺杂层和所述导电层的交界面为第一交界面，所述第一交界面为平面或平缓圆滑的曲面，以使穿过所述衬底到达所述第一交界面的光子经所述第一交界面的反射，回到所述衬底内部。

优选的，所述异质结电池还包括：覆盖在所述导电层下表面的背面电极层，所述导电层和所述背面电极层的交界面为第二交界面，所述第二交界面为平面或平缓圆滑的曲面，以使穿过所述衬底到达所述第二交界面的光子经所述第二交界面的反射，回到所述衬底内部。

优选的，所述异质结电池还包括：位于所述导电层下表面的背面栅线。

优选的，所述钝化掺杂层的材料为非晶硅。

优选的，所述导电层的材料为ITO、IZO、AZO、BZO、IMO或IWO中的至少一种。

本发明还提供了一种异质结电池的制作方法，包括：提供衬底，所述衬底的上表面和下表面为绒面；平坦化所述衬底的下表面；在所述衬底的下表面形成钝化掺杂层，在所述钝化掺杂层的下表面形成导电层，所述钝化掺杂层和所述导电层的交界面为第一交界面，所述第一交界面为平面或平缓圆滑的曲面，以使穿过所述衬底到达所述第一交界面的光子经所述第一交界面的反射，回到所述衬底内部。

优选的，所述平坦化所述衬底的下表面的过程为，采用具有腐蚀性的溶液对所述衬底的下表面进行腐蚀，使所述衬底的下表面成为平面或平缓圆滑的曲面。

优选的，所述在所述衬底的下表面形成钝化掺杂层的过程采用的工艺为：化学气相淀积工艺或物理气相淀积工艺；所述在所述钝化掺杂层的下表面形成导电层的过程采用的工艺为：化学气相淀积工艺或物理气相淀积工艺。

优选的，所述异质结电池的制作方法还包括：在所述导电层的下表面形成背面电极层。

优选的，所述异质结电池的制作方法还包括：在所述导电层的下表面形成背面栅线。

与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：

本发明所提供的异质结电池及其制作方法，通过平坦化衬底的下表面，使在衬底下表面形成的钝化掺杂层和导电层的表面为平面或平缓圆滑的曲面，即具有平坦的特性，当光子到达钝化掺杂层和导电层的第一交界面时，由于该交界面较平坦，所以能够将从电池上表面入射到达该交界面的光子反射回衬底内，避免了现有技术中由于异质结电池的下表面为金字塔结构，光子从上表面入射到达电池下表面后无法反射回衬底内而导致的光能损失，从而增加了异质结电池对光能的利用率，提高了光电转换效率；

此外，本发明所提供的异质结电池，衬底的下表面经过平坦化后变得较平坦，使在衬底下表面形成的钝化掺杂层和导电层的表面也较平坦，所以电池下表面的面积相对于现有技术中金字塔结构的下表面的面积减小，从而本发明提供的异质结电池的下表面载流子的复合减小，同时，经过平坦化的衬底下表面为钝化掺杂层和导电层提供了良好的形成基础，使钝化掺杂层和导电层的质量较现有技术中的提高，从而提高了异质结电池的光电转换效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。