[发明专利]成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构

权利要求书

1.一种成膜装置，具备：在内部具有在基板上成膜的成膜机构的成膜腔室、用于在多个该成膜腔室间搬运基板的转送室、以及分隔该成膜腔室与该转送室的闸阀，该成膜装置的特征在于，

通过载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，所述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

具备向规定的方向对所述搬运机构的最下层的移动单位进行驱动的驱动机构，并且通过利用联动机构将该最下层的移动单位的运动传递至其它的移动单位，从而使该搬运机构上的基板移动至规定的位置。

3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动单位的基体是金属平板。

4.一种基板搬运装置，其特征在于，

通过载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，所述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。

5.根据权利要求4所述的基板搬运装置，其特征在于，

具备向规定的方向对所述搬运机构的最下层的移动单位进行驱动的驱动机构，并且通过利用联动机构将该最下层的移动单位的运动传递至其它的移动单位，从而使该搬运机构上的基板移动至规定的位置。