[发明专利]盘表面检查方法及其装置

权利要求书

1.一种盘表面检查装置，其特征在于，

具备：

台单元，其载置作为样本的磁介质的盘，能够旋转并且能够在与旋转的中心轴成直角的方向上移动；

照明单元，其向载置在该台单元上的样本的表面侧的面照射光；

正反射光检测单元，其检测从通过该照明单元被照射了光的上述样本的表面侧的面反射的正反射光；

低角度散射光检测单元，其从由通过上述照明单元被照射了光的上述样本的表面侧的面反射的正反射光中，分离该正反射光的附近的散射光来检测该散射光；

高角度散射光检测单元，其检测从通过上述照明单元被照射了光的上述样本在相对于该样本的法线方向比上述正反射光的方向大的高角度方向上散射的散射光；以及

处理单元，其对来自上述正反射光检测单元的输出信号、来自上述低角度散射光检测单元的输出信号以及来自上述高角度散射光检测单元的输出信号进行处理，检测上述样本的表面的缺陷，其中，

上述处理单元还具有：

缺陷候选提取部，其对来自上述正反射光检测单元的输出信号、来自上述低角度散射光检测单元的输出信号以及来自上述高角度散射光检测单元的输出信号进行处理，提取缺陷候选；以及

圆周状缺陷提取部，其针对通过该缺陷候选提取部提取出的缺陷候选，根据从上述样本的中心在半径方向上存在于预定的宽度的范围内的缺陷候选所占的圆周方向的比例，提取圆周状的缺陷。

2.根据权利要求1所述的盘表面检查装置，其特征在于，

上述处理单元还具备：缺陷候选连续性判定部，其针对通过上述缺陷候选提取部提取出的缺陷候选，根据上述缺陷候选在上述样本上的位置信息，判定缺陷候选之间的连接/连续性，

上述圆周状缺陷提取部使用通过上述缺陷候选连续性判定部判定出的上述缺陷候选之间的连接/连续性的信息，提取上述圆周状的缺陷。

3.根据权利要求2所述的盘表面检查装置，其特征在于，

上述圆周状缺陷提取部针对通过上述缺陷候选连续性判定部没有判定为有圆周状连接/连续性的缺陷，在从上述样本的中心在半径方向上存在于预定的宽度的范围内的多个缺陷候选所占的圆周方向的比例为预先设定的比例以上的情况下，也作为圆周状的缺陷而提取。

4.根据权利要求1所述的盘表面检查装置，其特征在于，

上述处理单元还具备：特征量计算部，其针对通过上述缺陷候选提取部提取出的缺陷候选中的由上述圆周状缺陷提取部作为圆周状的缺陷而提取出的缺陷以外的缺陷候选，计算该缺陷候选的特征量；缺陷分类部，其根据通过该特征量计算部计算出的缺陷候选的特征量，将该缺陷候选分类为包含线状缺陷、面状缺陷、异物的多个种类。

5.根据权利要求1所述的盘表面检查装置，其特征在于，

还具备：具有显示画面的输入输出单元，

在该显示画面上，在地图上显示通过上述处理单元处理后的包含上述样本上的圆周状的缺陷在内的多个种类缺陷。

6.一种盘表面检查方法，其特征在于，包括以下步骤：

使作为样本的磁介质的盘旋转的同时在与旋转的中心轴成直角的方向上移动；

向该样本的表面侧的面照射光；

检测从被照射了该光的上述样本反射的正反射光；

从由被照射了上述光的上述样本反射的正反射光中分离该正反射光的附近的散射光来检测该散射光；

检测从被照射了上述光的上述样本在相对于该样本的法线方向比上述正反射光的方向大的高角度方向上散射的散射光；以及

对检测上述正反射光而得的信号、检测从上述正反射光中分离检测出的正反射光附近的散射光而得的信号以及检测在上述高角度方向上散射的散射光而得的信号进行处理，检测上述样本的表面的缺陷，其中，

检测上述样本的表面的缺陷是：

对检测上述正反射光而得的信号、检测从上述正反射光中分离检测出的正反射光附近的散射光而得的信号以及检测在上述高角度方向上散射的散射光而得的信号进行处理，提取缺陷候选；以及

针对该提取出的缺陷候选，根据从上述样本的中心在半径方向上存在于预定的宽度的范围内的缺陷候选所占的圆周方向的比例，提取圆周状的缺陷。