[发明专利]部件安装装置及基板的制造方法

权利要求书

1.一种部件安装装置，具备：

保持基板的基板保持单元；

支撑单元，所述支撑单元具有支撑由所述基板保持单元保持的所述基板的支撑体、以及使所述支撑体的高度位置发生变化的位移机构；

距离传感器，所述距离传感器测量从部件安装装置内的任意位置到由所述位移机构决定的所述支撑体的位置之间的距离；

安装头，所述安装头保持部件并将保持的所述部件安装到由所述基板保持单元保持的并由所述支撑体支撑的所述基板上；

控制单元，所述控制单元存储从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置的作为目标的目标距离的信息，并根据所述目标距离及通过所述距离传感器检测到的从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置之间的距离，算出所述支撑体的从当前高度位置到目标高度位置之间的移动距离；

保持所述安装头的安装头保持单元；以及

升降单元，所述升降单元具有安装有所述安装头及所述距离传感器的可动部，并设置在所述安装头保持单元上，用于使所述可动部升降。

2.根据权利要求1所述的部件安装装置，还具备：

安装头保持单元，所述安装头保持单元安装有所述距离传感器并保持所述安装头；以及

移动机构，所述移动机构使所述安装头保持单元在沿由所述基板保持单元保持的所述基板的安装面的至少一个轴方向上与所述基板相对地移动。

3.根据权利要求1或2所述的部件安装装置，其中，

所述位移机构具有驱动源、与所述驱动源连接且产生沿水平方向的驱动力的水平驱动部、以及与所述支撑体连接并将所述水平驱动部产生的所述驱动力变换为沿垂直方向的驱动力的变换机构。

4.根据权利要求1或2所述的部件安装装置，还具备：

搬送基板的搬送单元，

所述基板保持单元包括所述搬送单元的一部分结构。

5.根据权利要求1或2所述的部件安装装置，其中，

所述距离传感器是激光式位移传感器、超声波式位移传感器、涡电流式位移传感器及接触式位移传感器中的任一种。

6.一种基板的制造方法，是利用具备支撑单元的部件安装装置的基板的制造方法，所述支撑单元具有支撑基板的支撑体及使所述支撑体的高度位置发生变化的位移机构，所述基板的制造方法包括：

利用基板保持单元保持基板；

通过距离传感器测量从所述部件安装装置内的任意位置到由所述位移机构决定的所述支撑体的位置之间的距离；

根据由所述距离传感器测量而得的所述距离的信息，使所述支撑体移动到由所述位移机构决定的所述支撑体的目标高度位置，从而由所述支撑体支撑由所述基板保持单元保持的基板；以及

通过保持部件的安装头把保持的所述部件安装在由所述支撑体支撑的所述基板上，

其中，控制单元存储从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置的作为目标的目标距离的信息，并根据所述目标距离及通过所述距离传感器检测到的从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置之间的距离，算出所述支撑体的从当前高度位置到目标高度位置之间的移动距离，

安装头保持单元保持所述安装头，

升降单元具有安装有所述安装头及所述距离传感器的可动部，并设置在所述安装头保持单元上，用于使所述可动部升降。