[发明专利]探针装置和探针卡的平行调整机构

权利要求书

1.一种探针装置，其使配置于探针卡的多个探针与被检测基板接触从而进行电检测，所述探针装置的特征在于，包括：

载置台，其载置所述被检测基板；

顶板，其将所述探针卡保持在所述载置台的上方；

在四角对所述顶板进行支承的四个支承柱；

升降机构，其配置于所述支承柱之中的至少三处，使所述顶板升降从而对所述探针卡和所述载置台上的所述被检测基板的平行度进行调整；和

制动机构，其配置于所述升降机构的配置部位之中的至少一处，对所述顶板的升降施加制动，且所述制动机构所施加的制动能够被解除。

2.如权利要求1所述的探针装置，其特征在于：

所述制动机构包括：

轴，其垂直固定于所述升降机构；和

把持机构，其固定于所述支承柱，并把持所述轴。

3.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

所述升降机构配置于所述顶板的四角之中的前方侧两处和后方侧一处的总计三处，

所述制动机构配置于在后方侧一处配置的所述升降机构的配置部位。

4.如权利要求1或2任一项所述的探针装置，其特征在于：

所述升降机构具有：

移动体，其具有配置为能够沿所述支承柱的上表面移动的倾斜面；

升降体，其与所述顶板连结且配置为能够沿所述移动体的倾斜面升降；和

驱动机构，其使所述移动体沿所述支承柱的上表面移动。

5.一种探针卡的平行调整机构，其特征在于：

具有升降机构，该升降机构介于在四角对安装有探针卡的顶板进行支承的四个支承柱之中的至少三个支承柱和所述顶板之间，对所述探针卡和配置于所述探针卡的下方的载置台上的被检测基板的平行度进行调整，

具有制动机构，该制动机构配置于所述升降机构的配置部位之中的至少一处，对所述顶板的升降施加制动，且所述制动机构所施加的制动能够被解除。

6.如权利要求5所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

所述制动机构包括：

轴，其垂直固定于所述升降机构；和

把持机构，其固定于所述支承柱，并把持所述轴。

7.如权利要求5或6所述的探针卡的平行调整机构，其特征在于：

所述升降机构配置于所述顶板的四角之中的前方侧两处和后方侧一处的总计三处，

所述制动机构配置于在后方侧一处配置的所述升降机构的配置部位。

8.如权利要求5或6所述的探针装置，其特征在于：

所述升降机构具有：

移动体，其具有配置为能够沿所述支承柱的上表面移动的倾斜面；

升降体，其与所述顶板连结且配置为能够沿所述移动体的倾斜面升降；和

驱动机构，其使所述移动体沿所述支承柱的上表面移动。