[发明专利]开关管的衬底漏电测试方法有效
| 申请号： | 201310057398.8 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN104007332B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 连晓谦;许文慧 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 开关 衬底 漏电 测试 方法 | ||
1.一种开关管的衬底漏电测试方法，包括如下步骤：
以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围；第二范围比第一范围更小；所述第一范围为0至3伏；
以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压；
其中，所述第一步长大于所述第二步长。
2.根据权利要求1所述的开关管的衬底漏电测试方法，其特征在于，所述以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围的步骤具体为：
从第一范围的测试电压下限开始，以第一步长逐步增加测试电压；
在当前测试电压下，测试衬底电流；
判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压减去第一步长作为所述第二范围的测试电压下限；否则继续增加测试电压进行测试。
3.根据权利要求2所述的开关管的衬底漏电测试方法，其特征在于，所述以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压的步骤具体为：
从所述第二范围的测试电压下限开始，以第二步长逐步增加测试电压；
在当前测试电压下，测试衬底电流；
判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压对应的衬底电流为最大漏电流，当前测试电压为最大漏电流对应的栅极电压；否则继续增加测试电压进行测试；所述衬底电流均为负值，所述最大漏电流为绝对值最大。
4.根据权利要求1所述的开关管的衬底漏电测试方法，其特征在于，所述以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围的步骤具体为：
从第一范围的测试电压上限开始，以第一步长逐步减小测试电压；
在当前测试电压下，测试衬底电流；
判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压加上第一步长为所述第二范围的测试电压上限；否则继续减小测试电压进行测试。
5.根据权利要求4所述的开关管的衬底漏电测试方法，其特征在于，所述以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流对应的栅极电压的步骤具体为：
从所述第二范围的测试电压上限开始，以第二步长逐步减小测试电压；
在当前测试电压下，测试衬底电流；
判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压对应的衬底电流为最大漏电流，当前测试电压为最大漏电流对应的栅极电压；否则继续减小测试电压进行测试；所述衬底电流均为负值，所述最大漏电流为绝对值最大。
6.根据权利要求1至5任一项所述的开关管的衬底漏电测试方法，其特征在于，所述第一步长为0.5伏。
7.根据权利要求1至5任一项所述的开关管的衬底漏电测试方法，其特征在于，第二步长为0.1伏。
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