[发明专利]开关管的衬底漏电测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及元器件测试技术，特别是涉及一种开关管的衬底漏电测试方法。

背景技术

对于生产完成的元器件，通常都需要测试其可靠性。在对开关管的可靠性进行评估时，需要测试其衬底的最大漏电流或者衬底的最大漏电流所对应的栅极电压是否符合工作特性。

传统的测试方法中，将开关管的漏极接工作电压，衬底、源极接零电位，栅极在一定的测试电压范围内连续选值后测试衬底电流，获取测试过程中出现的最大电流值作为衬底的最大漏电流。

为了提高发现器件异常的可能，通常都以比较小的固定步长从0伏电压开始逐步增大栅极电压并测试衬底电流，当步长太小时，虽然精度够高，但是测试的时间也相对较长，效率较低。

发明内容

基于此，有必要提供一种能够减少测试时间，提高测试效率的开关管的衬底漏电测试方法。

一种开关管的衬底漏电测试方法，包括如下步骤：

以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围；

以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压；

其中，所述第一步长大于第二步长。

在其中一个实施例中，所述以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围的步骤具体为：

从第一范围的测试电压下限开始，以第一步长逐步增加测试电压；

在当前测试电压下，测试衬底电流；

判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压减去第一步长作为所述第二范围的测试电压下限；否则继续增加测试电压进行测试。

在其中一个实施例中，所述以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压的步骤具体为：

从所述第二范围的测试电压下限开始，以第二步长逐步增加测试电压；

在当前测试电压下，测试衬底电流；

判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压对应的衬底电流为最大漏电流，当前测试电压为最大漏电流对应的栅极电压；否则继续增加测试电压进行测试。

在其中一个实施例中，所述以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围的步骤具体为：

从第一范围的测试电压上限开始，以第一步长逐步减小测试电压；

在当前测试电压下，测试衬底电流；

判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压加上第一步长为所述第二范围的测试电压上限；否则继续减小测试电压进行测试。

在其中一个实施例中，所述以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流对应的栅极电压的步骤具体为：

从所述第二范围的测试电压上限开始，以第二步长逐步减小测试电压；

在当前测试电压下，测试衬底电流；

判断当前测试电压对应的衬底电流是否小于前一测试电压对应的衬底电流，若是，则以当前测试电压对应的衬底电流为最大漏电流，当前测试电压为最大漏电流对应的栅极电压；否则继续减小测试电压进行测试。

在其中一个实施例中，所述第一范围为0至3伏。

在其中一个实施例中，所述第一步长为0.5伏。

在其中一个实施例中，第二步长为0.1伏。

上述测试方法，首先采用更大的第一步长进行粗扫描缩小测试电压的取值范围，然后采用步长更小的第二步长进行细扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压，相比于传统的直接采用小步长直接进行扫描测试的方法，可以大大减少测试次数，提高测试效率。

附图说明

图1为一实施例的开关管的衬底漏电测试方法流程图；

图2为图1所示流程在一个实施例中的步骤S110的具体流程图；

图3为图1所示流程在一个实施例中的步骤S120的具体流程图；

图4为图1所示流程在另一个实施例中的步骤S110的具体流程图；

图5为图1所示流程在另一个实施例中的步骤S120的具体流程图。

具体实施方式

如图1所示，为一实施例的开关管的衬底漏电测试方法流程图。该开关管可以为N型MOS管或P型MOS管等。该方法包括如下步骤。