[发明专利]老化测试设备用接触装置及老化测试设备

权利要求书

1.一种老化测试设备用接触装置，其特征在于，包含：

保持板，在保持测试板之后可相对测试基板进退，以将测试板移动到测试基板一侧或使其向反方向移动；

第一驱动源，用于提供所述保持板进退所需的驱动力；

动力转换传递装置，将所述第一驱动源所提供的驱动力转换为所述保持板的进退力后传递给保持板；以及

第二驱动源，用于提供所述保持板的保持动作所需的驱动力。

2.根据权利要求1所述的老化测试设备用接触装置，其特征在于，

所述保持板上形成有至少一个连接槽和多个保持凸起，所述至少一个连接槽用于连接测试板的连接器和测试基板侧的连接器，所述多个保持凸起根据保持板的升降状态插入或脱离测试板的保持槽，以保持测试板或解除对测试板的保持，

所述第二驱动源所提供的驱动力是使所述保持板升降的升降力。

3.根据权利要求1所述的老化测试设备用接触装置，其特征在于，所述动力转换传递装置包含：

第一旋转部件，借由所述第一驱动源的驱动力以水平方向为旋转轴方向进行旋转；

第二旋转部件，伴随所述第一旋转部件的旋转以竖直方向为旋转轴进行旋转；

第一转换器，将所述第一旋转部件的旋转力转换为所述第二旋转部件的旋转力；

第二转换器，将所述第二旋转部件的旋转力转换为所述保持板的进退力；

传递部件，将通过所述第二转换器转换为所述保持板的进退力的移动力传递到所述保持板，

所述传递部件的一侧结合于所述保持板，另一侧结合于所述第二转换器一侧。

4.根据权利要求3所述的老化测试设备用接触装置，其特征在于，所述第二转换器和所述传递部件沿竖直方向相互分开而分别设置多个。

5.根据权利要求3所述的老化测试设备用接触装置，其特征在于，所述第二旋转部件、所述第一旋转器、所述第二旋转器以及所述传递部件在水平方向上相互分开而成对设置。

6.一种老化测试设备，其特征在于，包含：

板收容腔室，用于收容至少一个测试板；

至少一个测试基板，用于对装载在所述板收容腔室所收容的测试板上的半导体元件进行测试；

基板收容腔室，用于收容所述至少一个测试基板；

如权利要求1至5中的任意一项所述的接触装置，通过使收容于所述板收容腔室中的至少一个测试板接触所述至少一个测试基板，从而将装载于至少一个测试板上的多个半导体元件电连接到所述至少一个测试基板。