[发明专利]液体喷出头的制造方法

权利要求书

1.一种液体喷出头的制造方法，其包括：

预备步骤，提供压电基板以及用于支撑所述压电基板的第一支撑基板和第二支撑基板；

粘合步骤，使所述第一支撑基板的一个面粘合到所述压电基板的两个主面中的一个主面；

槽形成步骤，在所述压电基板的所述两个主面中的另一个主面形成槽；

电极形成步骤，在所述槽的侧面、所述槽的底面以及在所述槽形成之后残余的所述另一个主面中的至少一个面形成第一电极；

接合步骤，使所述第二支撑基板的一个面与所述压电基板的所述另一个主面接合；以及

分离步骤，使所述第一支撑基板从所述压电基板分离。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二支撑基板的抗弯刚度比形成所述槽之后的所述压电基板的抗弯刚度高。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在所述电极形成步骤之后，所述制造方法还包括利用所述第一电极使所述压电基板经受极化处理的步骤。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，

在所述预备步骤中，进一步提供除了接合到所述第二支撑基板的所述压电基板之外的另一个压电基板，并且

在所述分离步骤之后，所述制造方法还包括：

层叠体形成步骤，使另一个所述压电基板的两个主面中的一个主面粘合到所述第一支撑基板的一个面，并且使接合到所述第二支撑基板的所述压电基板的所述一个主面与另一个所述压电基板的所述两个主面中的另一个主面接合以形成使所述压电基板层叠的层叠体；和

第二分离步骤，使所述第一支撑基板从所述层叠体分离。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其中，所述层叠体形成步骤和所述第二分离步骤被重复多次以层叠预定数量的所述压电基板。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在使所述压电基板的所述一个主面粘合到所述第一支撑基板之前，所述制造方法还包括：

在所述压电基板的所述一个主面形成第一标记和利用所述第一标记作为基准进行定位的第二电极的步骤；

在所述压电基板的所述另一个主面形成电极焊盘以将所述第二电极电连接到所述电极焊盘的步骤；以及

在所述压电基板的所述另一个主面形成利用所述第一标记作为基准进行定位的第二标记的步骤。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在所述接合步骤之前，所述制造方法还包括：

在所述第二支撑基板形成第三标记的步骤；以及

在所述压电基板的所述另一个主面形成第四标记的步骤，

其中，在所述接合步骤中，在通过使所述第三标记和所述第四标记对准来使得所述压电基板和所述第二支撑基板对准之后，使所述压电基板接合到所述第二支撑基板。

8.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在使所述第一支撑基板从所述压电基板分离的所述分离步骤之后，所述制造方法还包括沿着与所述压电基板的所述另一个主面交叉的方向对接合到所述第二支撑基板的所述压电基板以及所述第二支撑基板一同进行切割的步骤。

9.一种液体喷出头的制造方法，其包括：

预备步骤，提供压电基板以及用于支撑所述压电基板的第一支撑基板和第二支撑基板；

在所述压电基板的两个主面中的一个主面形成第一标记和利用所述第一标记作为基准进行定位的第一电极的步骤；

在所述压电基板的所述两个主面中的另一个主面形成电极焊盘以将所述第一电极电连接到所述电极焊盘、并且在所述另一个主面形成利用所述第一标记作为基准进行定位的第二标记的步骤；

使所述第一支撑基板的一个面粘合到所述压电基板的所述一个主面的步骤；

在所述另一个主面形成利用所述第二标记作为基准进行定位的槽的步骤；

在所述槽的侧面、所述槽的底面以及在所述槽形成之后残余的所述另一个主面中的至少一个面形成与所述第一电极电分离的第二电极的步骤；

接合步骤，使所述第二支撑基板的一个面与所述压电基板的所述另一个主面接合；以及

分离步骤，使所述第一支撑基板从所述压电基板分离。