[发明专利]试验装置

权利要求书

1.一种试验装置，用于对被试验器件进行试验，其特征在于，包括：

试验单元，向所述被试验器件提供规定的测试模式；

主电源，其输出端子经由电源线与所述被试验器件的电源端子连接，反馈控制从所述输出端子输出的输出电压，以使得与所述电源端子的电源电压相对应的检测值接近目标值；以及

电源控制部，当所述试验单元向所述被试验器件提供所述测试模式时，前馈控制所述主电源，以使得所述电源电压接近规定的目标波形。

2.根据权利要求1所述的试验装置，其特征在于，

所述主电源包括：

误差信号生成部，生成与所述检测值和所述目标值的误差相对应的误差信号；以及

反馈输出部，根据所述误差信号，反馈控制所述输出电压，以使得所述误差为零，

所述电源控制部将对应于所述目标波形的校正电压叠加在所述目标值上。

3.根据权利要求1所述的试验装置，其特征在于，

所述主电源包括：

误差信号生成部，生成与所述检测值和所述目标值的误差相对应的误差信号；以及

反馈输出部，根据所述误差信号，反馈控制所述输出电压，以使得所述误差为零，

所述电源控制部将与所述目标波形相对应的校正电压叠加在所述检测值上。

4.根据权利要求2或3所述的试验装置，其特征在于，

所述电源控制部包括：

第一波形获取部，当所述被试验器件响应于所述测试模式而动作时，在所述主电源中的所述目标值被固定的状态下，获取提供给所述被试验器件的所述电源电压的波形即第一波形；

目标波形获取部，获取所述目标波形；以及

校正电压计算部，根据所述第一波形和所述目标波形的差值波形，计算所述校正电压。

5.根据权利要求4所述的试验装置，其特征在于，

所述校正电压计算部，通过在所述差值波形上乘以规定系数K，由此生成所述校正电压，

所述系数K是当所述校正电压为零时的所述目标值V_REF和所述电源电压V_DD的比V_REF/V_DD。

6.根据权利要求4所述的试验装置，其特征在于，

所述校正电压计算部通过在所述差值波形上乘以所述主电源的传递函数的反函数，由此生成所述校正电压。

7.根据权利要求5所述的试验装置，其特征在于，

所述校正电压计算部强调所述差值波形的高域成分。

8.根据权利要求6所述的试验装置，其特征在于，

所述校正电压计算部强调所述差值波形的高域成分。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的试验装置，其特征在于，

还包括补偿电路，该补偿电路在所述被试验器件响应于所述测试模式而执行某动作顺序时，（i）将与所述动作顺序相对应的补偿电流从与所述主电源不同的路径注入所述电源端子，和/或（ii）从由所述主电源流入所述被试验器件的电源电流中，将补偿电流引入与所述被试验器件不同的路径。

10.根据权利要求4所述的试验装置，其特征在于，

还包括补偿电路，该补偿电路在所述被试验器件响应于所述测试模式而执行某动作顺序时，（i）将与所述动作顺序相对应的补偿电流从与所述主电源不同的路径注入所述电源端子，和/或（ii）从由所述主电源流入所述被试验器件的电源电流中，将补偿电流引入与所述被试验器件不同的路径，

所述电源控制部还包括：

第二波形获取部，在所述被试验器件响应于所述测试模式而动作时，在所述主电源通过所述电源控制部进行前馈控制的状态下，获取提供给所述被试验器件的所述电源电压的波形即第二波形，

补偿电流计算部，根据所述第二波形和所述目标波形的差值波形，计算所述补偿电路生成的补偿电流。