[发明专利]试验装置

说明书

技术领域

本发明涉及对被试验器件进行试验的试验装置，尤其涉及其电源电路。

背景技术

在对利用CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor：互补型金属氧化物半导体）技术的CPU（Central processing Unit：中央处理器）、DSP（Digital Signal Processor：数字信号处理器）、存储器等的半导体集成电路（以下称为DUT）进行试验时，DUT内的触发器、锁存器在供给时钟的动作中电流流动，当时钟停止时电路成为静态状态，电流减少。因此，DUT的动作电流（负载电流）的总和会根据试验内容等而时刻变动。

供给DUT功率的电源电路例如用调节器构成，在理想情况下能够供给固定的功率而与负载电流无关。但是，在实际的电源电路中，由于具有无法忽视的输出阻抗，另外在电源电路和DUT之间还存在无法忽视的阻抗成分，因此随着负载变动，电源电压会发生变动。

电源电压的变动给DUT的试验容限带来严重影响。另外，电源电压的变动还影响到试验装置内其他电路块，例如用于生成供给至DUT的模式的模式发生器、用于控制模式的漂移定时的定时发生器的动作，使试验精度变差。

在专利文献2记载的技术中，除了设置向被试验器件供给电源电压的主要的电源之外，还设置包括通过驱动器的输出控制接通、断开的开关的补偿电路。

图1是表示本发明人等研讨的具备补偿电路的电源装置的结构框图。在DUT1的电源端子P1上供给电源电压V_DD，并设置其接地端子P2。在DUT1的I/O端子P3上供给来自未图示的试验装置的驱动器的测试模式S_TEST。

电源装置8包括主电源10和电源补偿电路12，在DUT1的电源端子P1上供给电源电压V_DD。主电源10的输出端子经由电源线与DUT1的电源端子P1连接。主电源10是数字电路和数字/模拟转换器的组合、线性调节器、开关调节器等，接受与电源端子P1的电源电压V_DD相对应的反馈信号，反馈控制输出电源V_OUT，以使得电源电压V_DD与目标电源V_REF一致。

电源补偿电路12的拉出电流源12b根据控制模式S_CNT1进行开关，从与主电源10不同的路径向DUT1的电源端子P1注入（流入）脉冲状的补偿电流I_SRC。灌入电流源12c按照控制模式S_CNT2而进行开关，将脉冲状的补偿电流补偿电流I_SINK引入（沉入）与DUT1不同的路径。

而且，与测试模式S_TEST相对应地定义电源补偿电路12的补偿用控制模式S_CNT1、S_CNT2，以消除按照供给至DUT1的测试模式S_TEST而产生的电源电压V_DD的变动。在实际试验时，通过向DUT1供给测试模式S_TEST，并且按照控制模式S_CNT1、S_CNT2而控制电源补偿电路12，由此能够固定保持电源电压V_DD。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2007-205813号公报

[专利文献2]国际公开第10/029709A1号手册

发明内容

在实际使用DUT的环境（称为实际动作环境）中，很少使用理想电源，现实中，从成本、电路面积的观点出发，一般使用响应速度慢、或者输出阻抗较大的电源。在这样的实际动作环境中，电源电压并不保持固定，而是相应于DUT的动作状态发生动态变动。

为此，在对DUT进行试验时，需要有意改变电源电压，想要再现与DUT的实际动作环境相同的电源环境。在本说明书中称为电源环境的仿真。即使在这样的电源环境的仿真中，上述补偿电路也是有效的。即，为了得到所希望的电源电压波形，只要预先确定控制模式，使补偿电路生成的补偿电流随着时间变化即可。

本发明人等对这样的电源环境的仿真进行了讨论，其结果是，认识到以下的课题。

图2（a）、（b）是说明电源环境的仿真的图。流入DUT1的电源端子的动作电流I_OP按照测试模式而在某时刻t1增加。