[发明专利]X线管

说明书

技术领域

本发明涉及一种在设为高真空状态的封装件（package）的内部从电子源释出电子而与X线靶（target）撞击，且将从X线靶发出的X线从封装件的X线穿透窗放射至外部的X线管，尤有关于通过X线穿透窗的改进来提升封装件的强度的X线管。

背景技术

在下述专利文献1中，揭示一种将X线照射于空气，用于产生离子气体（ion gas）的X线产生装置。用在该X线产生装置的X线管，其以圆柱状的封装件（灯泡（bulb））为本体，在封装件中，从灯丝（filament）释出的电子，通过焦距（focus）聚焦，再与X线靶撞击而产生X线，而该X线则穿透输出窗（X线穿透窗）再射出至封装件的外部。

图8与上述的专利文献1的X线管相同，为将玻璃制圆柱状封装件100作为本体的所谓圆型管形态的X线管的剖面图。该圆柱状封装件100的位于其一端面的圆形开口以由铍（beryllium）膜所构成的X线穿透窗101封闭，而内部则保持为高真空状态。在封装件100的内部中，于X线穿透窗101的内面设有X线靶102。此外，在封装件100的另一端面侧，设有属于电子源的阴极（cathode）103与控制电极104。此外，从阴极103释出的电子在控制电极104被加速，并聚焦后与X线靶102撞击，而得以从X线穿透窗101放射X线至封装件100的外部。另外，图8中以符号X显示从X线穿透窗101放射至封装件100的外部的X线的示意图，并且以P来显示X线穿透窗101中的X线的放射的中心。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2005-116534号公报

发明内容

[发明所欲解决的课题]

然而，在图8所示的现有的X线管中，由于来自阴极103的电子线缩小为射束（beam）状，以撞击X线靶102的位置为中心，X线为扩展成放射状的点状的X线照射（图8中以符号P显示的点为中心），而X线从X线穿透窗101穿出后扩展成圆锥状（在图8中以符号X显示），因此会有相对于照射对象物的大小，有效照射范围（area）较窄的问题。因此，为了以此方式使用照射范围较窄的圆形管的X线管来照射X线于较广的范围，需使用多个X线管，并将此等予以并排使用，而在设备成本或维修面上的负担较大。

此外，若要将X线广范围地照射，虽也可考虑例如远离对象物来照射X线，但若要对于照射对象物照射所希望的X线，必须加强X线的照射强度。这样一来，会将X线照射到不必要之处，而产生X线泄漏的问题。

因此，本案发明的发明人等，为了解决此种现有的圆形管形态的X线管的问题点，而发明了如图6及图7所示的平型管形态的X线管。此X线管以在将玻璃板组装成箱型的容器部51的开放侧周缘部，安装由形成有细缝（slit）状开口部52（例如宽度2mm左右）的X线非穿透性金属所构成的基板53并封闭，更进一步将由钛（titanium）箔所构成的X线穿透窗54从基板53的外侧安装在开口部52并封闭而成的封装件55作为本体。封装件55的内部保持为高真空状态。在封装件55内，于露出在基板53的开口部52的X线穿透窗54中设有钨（tungsten）等的靶56。此外，在封装件55的内部，在X线穿透窗54相反侧的内面设有背面电极57，而在其下方依序配设有灯丝状阴极58、从阴极58引出电子的第一控制电极59、及将第一控制电极59所引出的电子予以加速的第二控制电极60。

依据此X线管，通过第一控制电极59从阴极58所引出的电子是通过第二控制电极60加速。此外，与X线靶56撞击而产生的X线，穿透X线穿透窗54而放射至封装件55的外部。如此，在此X线管中，是使用X线穿透性良好且强度高的钛作为X线穿透窗54的素材，并未使用当氧化时会有害的铍。此外，由于X线从被基板53的开口部52所限制的X线穿透窗54放射，因此只要将开口部52的细长细缝形状的尺寸设定为所希望的尺寸，就可使接受X线放射的区域实质为线状，而使X线以X线穿透窗54的细缝宽度扩展，因此易于与对象物大小对应而以较高的弹性来设定有效宽广的照射范围，而可获得照射范围狭窄的圆形管X线管所未有的效果。此外，只要将开口部52的尺寸、形状形成为所希望尺寸的矩形沟状等，在X线穿透窗54中接受X线放射的区域，相比于圆形的X线穿透窗，就较为容易从外形来判断，因此较容易进行将X线精确地引导至预定位置的路径的设定。