[发明专利]一种紫外多参数校准装置

权利要求书

1.一种紫外多参数校准装置，其特征在于包括：

真空仓，旋转平台，标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器，紫外成像参数校准系统和单色仪，还包括紫外探测器或者紫外光源；

所述旋转平台内置于所述真空仓内，所述单色仪与所述真空仓相连接，所述紫外探测器通过所述单色仪测量所述真空仓内的紫外光源的辐射，或者所述紫外光源通过所述单色仪向所述真空仓提供紫外光源的辐射；

所述标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器和紫外成像参数校准系统均置于所述旋转平台之上，所述旋转平台根据控制信号沿着所述旋转平台的圆心旋转，其中，所述紫外成像器和紫外成像参数校准系统处于同一光路。

2.根据权利要求1所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，所述旋转平台与标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器和紫外成像参数校准系统的连接接口均具有旋转电机和平移电机，通过所述旋转电机和平移电机调节所述标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器和紫外成像参数校准系统的位置和空间姿态。

3.根据权利要求1所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，还包括计算机，当进行光源光谱辐射度校准时，所述紫外探测器与所述单色仪相连接，所述旋转平台进行旋转承载着所述标准紫外光源位于光路中，所述标准紫外光源发射出辐射，该标准紫外光源的辐射经过所述单色仪分光后被所述紫外探测器获取，将该标准紫外光源的光谱响应数据发送给计算机；

所述旋转平台进行旋转承载着所述待校准光源位于光路中，所述待校准光源发射出辐射，该待校准光源的辐射经过所述单色仪分光后被所述紫外探测器获取，将该待校准光源的光谱响应数据发送给计算机。

4.根据权利要求1所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，还包括计算机，当进行紫外探测器光谱响应度校准时，所述紫外光源与所述单色仪相连接，所述旋转平台进行旋转承载着所述标准紫外探测器位于光路中，所述紫外光源发射出的辐射经过单色仪分光后由所述标准紫外探测器接收，所述标准紫外探测器将该紫外光源辐射的光谱响应数据发送给计算机；

所述旋转平台进行旋转承载着所述待校准探测器位于光路中，所述紫外光源发射出的辐射经过单色仪分光后由所述待校准探测器接收，所述待校准探测器将该紫外光源辐射的光谱响应数据发送给计算机。

5.根据权利要求1所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，还包括计算机，当进行紫外成像参数校准时，所述紫外光源与所述单色仪相连接，所述旋转平台进行旋转承载着所述紫外成像器和紫外成像参数校准系统处于光路中，所述紫外光源发射出的辐射经过单色仪分光后转换为一定带宽的紫外光谱辐射，该一定带宽的紫外光谱辐射成为所述紫外成像参数校准系统的紫外光源，所述紫外成像参数校准系统投射出紫外标准图像，所述紫外成像器对所述标准图像进行接收和探测，并将探测数据发送给所述计算机。

6.根据权利要求3-5任意一顶权利要求所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，所述计算机用于数据计算和比较操作。

7.根据权利要求1所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，所述单色仪与所述真空仓采用法兰连接。

8.根据权利要求1所述的一种紫外多参数校准装置，其特征在于，所述真空仓控制在1×10^-1pa～1×10^-5pa之间，仓体积控制在0.5m³～10m³之间。