[发明专利]晶圆自动取放机械手

权利要求书

1.一种晶圆自动取放机械手，其特征在于：包括固定安装于晶圆去膜设备机架上的基板(1)、水平伸展驱动装置(2)、水平旋转驱动装置(3)、垂直升降驱动装置(4)、水平伸展定位板(5)、垂直升降板(9)、机械手臂(10)和控制器，机械手臂(10)能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板(5)上，水平伸展定位板(5)能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板(9)上，垂直升降板(9)能够沿竖直方向直线升降定位于基板上，所述水平伸展驱动装置(2)、水平旋转驱动装置(3)和垂直升降驱动装置(4)分别驱动机械手臂(10)、水平伸展定位板(5)和垂直升降板(9)动作，且所述机械手臂(10)上设有至少一个吸盘(11)，控制器分别控制水平伸展驱动装置(2)、水平旋转驱动装置(3)、垂直升降驱动装置(4)和吸盘(11)的真空吸引装置动作，所述机械手臂(10)能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板(5)上的结构为：水平伸展定位板(5)上能够与机械手臂(10)同向滑动设有一水平伸展台，所述水平伸展驱动装置(2)固定于该水平伸展台上，水平伸展驱动装置(2)为两端都具有输出轴的双轴马达，该双轴马达两端的输出轴分别设有一个齿轮(12)和一个主动皮带轮(13)，水平伸展定位板(5)上固设有一沿机械手臂(10)滑动方向的齿条，所述齿轮(12)与该齿条啮合传动，水平伸展台上设有被动皮带轮，还设有皮带(14)，所述皮带(14)套设于主、被动皮带轮外侧，且皮带(14)与机械手臂(10)止动连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动取放机械手，其特征在于：所述水平伸展定位板(5)能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板(9)上的结构为：设有水平旋转定位座(6)和水平旋转轴(7)，水平旋转轴能够绕竖直方向轴旋转插设于定位座中，水平旋转定位座固定安装在垂直升降板(9)上，水平旋转驱动装置(3)驱动水平旋转轴转动，水平伸展定位板(5)固定于水平旋转轴上端。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动取放机械手，其特征在于：所述垂直升降板(9)能够沿竖直方向直线升降定位于基板上的结构为：还设有垂直升降定位架(8)，所述垂直升降定位架固定于基板(1)上，竖直升降定位架上能够转动设有一丝杆，丝杆轴向沿竖直方向放置，丝杆上啮合套设有一螺母，所述螺母与垂直升降板(9)固连，垂直升降驱动装置(4)驱动丝杆旋转。

4.根据权利要求3所述的晶圆自动取放机械手，其特征在于：所述垂直升降定位架上还设有竖直导套，垂直升降板(9)上设有直线导轨，所述直线导轨滑动插设于导套内。

5.根据权利要求1所述的晶圆自动取放机械手，其特征在于：所述吸盘(11)上的真空吸引装置为真空发生器。

6.根据权利要求1所述的晶圆自动取放机械手，其特征在于：所述水平旋转驱动装置(3)和垂直升降驱动装置(4)均为马达。