[发明专利]一种太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种晶体硅太阳能电池的制备方法，其中，包括以下步骤：

a）在硅片正面形成绒面；

b）在所述硅片正面进行P扩散；

c）对所述硅片背面进行抛光，并生成SiO₂层，同时去除周边P扩散层，然后去除所述硅片正面的磷硅玻璃；

d）在所述硅片正面形成减反膜；

e）在所述硅片的正面和背面分别进行丝网印刷形成电极。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，对所述硅片进行背面抛光时，采用混合酸性溶液对所述硅片进行腐蚀。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其中，所述混合酸性溶液为硝酸与氢氟酸的混合溶液。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其中，所述硝酸与所述氢氟酸的体积比为16:1～25:1。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其中，所述混合酸性溶液中还包括去离子水。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其中，所述混合酸性溶液中，所述硝酸的质量分数为39%～95%；所述氢氟酸的质量分数为5%～37%；所述去离子水的质量分数为0～16%。

7.根据权利要求5或6所述的制备方法，其中，所述混合酸性溶液中还包括硫酸。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其中，所述硫酸的体积与未加入硫酸时的所述混合酸性溶液的体积的体积比为17:65。

9.根据权利要求1～8任意一项所述的制备方法，其中，所述步骤c）的反应温度为6℃～25℃。