[发明专利]一种太阳能电池的制备方法有效
申请号: | 201310070811.4 | 申请日: | 2013-03-05 |
公开(公告)号: | CN103117330A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 权微娟;李旺;刘石勇;韩玮智;牛新伟;蒋前哨;李永辉;仇展炜 | 申请(专利权)人: | 浙江正泰太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 冯谱 |
地址: | 310053 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,具体地说涉及一种太阳能电池的制备方法。
背景技术
随着世界范围内能源危机的日益严重,越来越多的科学家关注于对太阳能的研究与利用,因此,近年来光伏产业得以快速发展。太阳能发电可有效解决传统发电方式对于不可再生能源的消耗,使用太阳能进行发电已是大势所趋。晶体硅太阳能电池在光伏电池中的市场份额保持在90%左右,占据着整个光伏产业的主导,而硅片成本是电池成本的60%~70%,因此降低硅电池片制造成本是世界众多光伏研究机构和制造企业研究的热点。
传统晶体硅太阳能电池的制备工艺如下:制绒—扩散—去除边缘和背面PN结—去除磷硅玻璃—镀膜—印刷—烧结。传统工艺为双面制绒,电池正面的绒面结构可以使入射光进行多次反射和折射,以增加电池对入射光的吸收;而电池的背面则希望获得光滑的平面结构,以增强对光的反射,使得透入硅片的入射光能够反射回去,再次获得吸收利用。因此,传统的双绒面结构会使硅片中约三分之二的光直接透射出电池体外,降低了电池的光电转换效率。而且,背面是绒面结构的电池,在印刷电极浆料后,相对于光面结构,浆料与硅片之间容易存在孔隙,在后续进行背电极烧结工艺时,极易产生铝包现象,造成电极接触不良,进一步影响电池的光电转换效率。
目前背抛光主要有两种方法:一种是正面制绒完成后,使硅片背面接触热碱液进行背抛光,例如专利申请号为201010570455.9的专利申请中所公开的方法;另一种是专利申请号为200910237701.6的专利申请所公开的方法,在硅片正面沉积保护膜,然后浸入热碱液进行抛光。
上述两种方法实质上都是利用热碱溶液对硅的强腐蚀性来制作光滑的背表面,对于目前晶硅太阳能电池薄片化的发展趋势,强腐蚀的方法对硅片的腐蚀量较大,从而导致制作过程中的碎片率增加,进而成本增加。因此需要一种能够既能得到良好的背面抛光效果又可以减小碎片率的背面抛光方法。
发明内容
为了解决现有技术中,对硅片背面采用强碱性溶液抛光导致的硅片腐蚀量大,后续制造太阳能电池的过程中碎片率高等问题,本发明公开了一种太能电池的制备的方法。
根据本发明的一个方面,提供了一种太阳能电池的制备方法,其中,包括以下步骤:
a)在硅片正面形成绒面;
b)在所述硅片正面进行P扩散;
c)对所述硅片背面进行抛光,并生成SiO2层,同时去除周边P扩散层,然后去除所述硅片正面的磷硅玻璃;
d)在所述硅片正面形成减反膜;
e)在所述硅片的正面和背面分别进行丝网印刷形成电极。
根据本发明的一个优选实施例,对所述硅片进行背面抛光时,采用混合酸性溶液对所述硅片进行腐蚀。
根据本发明的另一个优选实施例,所述混合酸性溶液为硝酸与氢氟酸的混合溶液。
根据本发明的又一个优选实施例,所述硝酸与所述氢氟酸的体积比为16:1~25:1。
根据本发明的又一个优选实施例,所述混合酸性溶液中还包括去离子水。
根据本发明的又一个优选实施例,所述混合酸性溶液中,所述硝酸的质量分数为39%~95%;所述氢氟酸的质量分数为5%~37%;所述去离子水的质量分数为0~16%。
根据本发明的又一个优选实施例,所述混合酸性溶液中还包括硫酸。
根据本发明的又一个优选实施例,所述硫酸的体积与未加入硫酸时的所述混合酸性溶液的体积的体积比为17:65。
根据本发明的又一个优选实施例,所述步骤c)的反应温度为6℃~25℃。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的