[发明专利]陀螺仪传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种陀螺仪传感器，其特征在于，

在设相互交叉的3个轴为第1轴、第2轴和第3轴时，

该陀螺仪传感器具有：

基部；

第1连接臂和第2连接臂，它们从所述基部起沿着所述第1轴彼此相反地延伸；

第1驱动振动臂，其从所述第1连接臂起沿着所述第2轴延伸；

第2驱动振动臂，其从所述第2连接臂起沿着所述第2轴延伸；以及

第1检测振动臂和第2检测振动臂，它们从所述基部起沿着所述第2轴彼此相反地延伸，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自包含所述第1轴和所述第3轴的方向的振动成分。

2.一种陀螺仪传感器，其特征在于，

在设相互交叉的3个轴为第1轴、第2轴和第3轴时，

该陀螺仪传感器具有：

基部；

第1连接臂和第2连接臂，它们从所述基部起沿着所述第1轴彼此相反地延伸；

第1驱动振动臂，其从所述第1连接臂起沿着所述第2轴延伸；

第2驱动振动臂，其从所述第2连接臂起沿着所述第2轴延伸；

第1检测振动臂和第2检测振动臂，它们从所述基部的一端起在与所述第1轴和所述第2轴双方交叉的方向上延伸，并且在第1轴方向上朝向彼此相反侧延伸；以及

第3检测振动臂和第4检测振动臂，它们从所述基部的另一端起在与所述第1轴和所述第2轴双方交叉的方向上延伸，并且在第1轴方向上朝向彼此相反侧延伸，

所述第1检测振动臂和所述第2检测振动臂与所述第3检测振动臂和所述第4检测振动臂在所述第2轴方向上朝向相反侧延伸，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自包含所述第1轴和所述第3轴的方向的振动成分。

3.根据权利要求2所述的陀螺仪传感器，其特征在于，

该陀螺仪传感器包含：

第5检测振动臂，其位于所述第1检测振动臂与所述第2检测振动臂之间，并且从所述基部的一端起沿着所述第2轴延伸；以及

第6检测振动臂，其位于所述第3检测振动臂与所述第4检测振动臂之间，并且从所述基部的另一端起沿着所述第2轴延伸。

4.根据权利要求2或3所述的陀螺仪传感器，其中，

所述第1检测振动臂和所述第2检测振动臂与所述第3检测振动臂和所述第4检测振动臂关于由所述第1轴和所述第3轴规定的平面对称地设置，

所述第1检测振动臂和所述第3检测振动臂与所述第2检测振动臂和所述第4检测振动臂关于由所述第2轴和所述第3轴规定的平面对称地设置。

5.根据权利要求1或2所述的陀螺仪传感器，其中，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂的驱动振动时的所述第3轴的振动成分为相同方向。

6.根据权利要求1或2所述的陀螺仪传感器，其中，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂的驱动振动时的所述第1轴的振动成分为相反方向。

7.根据权利要求1或2所述的陀螺仪传感器，其中，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自包含如下部分：该部分的所述第2轴方向的截面形状关于所述第1轴方向的中心线和所述第3轴方向的中心线不对称。

8.根据权利要求7所述的陀螺仪传感器，其中，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自具有：

相互处于正反关系的第1面和第2面；以及

设置于所述第1面的第1槽；以及

设置于所述第2面的第2槽，

在从所述第1面的法线方向观察的俯视中，所述第1槽和所述第2槽排列在所述第1轴的方向上。

9.根据权利要求7所述的陀螺仪传感器，其中，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自包含：

相互处于正反关系的第1面和第2面；以及

连接所述第1面和所述第2面的第1侧面和第2侧面，

所述第1侧面和所述第2侧面中的至少一方具有阶梯部。

10.根据权利要求1所述的陀螺仪传感器，其包含：

第3驱动振动臂，其在与所述第1驱动振动臂延伸的方向相反的方向上延伸；以及

第4驱动振动臂，其在与所述第2驱动振动臂延伸的方向相反的方向上延伸。