[发明专利]陀螺仪传感器以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及陀螺仪传感器以及电子设备。

背景技术

以往，作为用于检测角速度的振动片，公知有专利文献1的陀螺仪元件。

专利文献1的陀螺仪元件具有：基部；从基部起朝向两侧在Y轴方向上延伸的第1、第2检测振动臂；从基部起朝向两侧在X轴方向上延伸的第1、第2连接臂；从第1连接臂的末端部起朝向两侧在Y轴方向上延伸的第1、第2驱动振动臂；以及从第2连接臂的末端部起朝向两侧在Y轴方向上延伸的第3、第4驱动振动臂。此外，在第1～第4驱动振动臂上形成有驱动电极，在第1、第2检测振动臂上形成有检测电极。

这样的陀螺仪元件如下地检测角速度。首先，以第1、第2驱动振动臂和第3、第4驱动振动臂关于YZ平面呈面对称的方式使第1～第4驱动振动臂进行振动。在该状态下绕Z轴施加角速度时，向陀螺仪元件作用科里奥利力，在第1、第2检测振动臂中激励出X轴方向的检测振动。并且，检测电极对由于该振动产生的第1、第2检测振动臂的变形进行检测，由此能够求出绕Z轴的角速度。

但是，在专利文献1的陀螺仪元件中，仅能检测绕Z轴的角速度。即，无法检测绕X轴的角速度和绕Y轴的角速度。因此，例如在想要检测绕X轴和绕Y轴产生的角速度的情况下，需要纵向配置陀螺仪元件，从而传感器器件的厚度变大。并且，在想要针对多个轴检测角速度的情况下，需要配置多个陀螺仪元件。因此，存在装置大型化的问题。

【专利文献1】日本特开2006-201011号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够检测绕相互交叉的多个轴的各个轴的角速度的陀螺仪传感器，并且提供具有该陀螺仪传感器的可靠性优异的电子设备。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。

[应用例1]

本发明的陀螺仪传感器的特征在于，

在设相互交叉的3个轴为第1轴、第2轴和第3轴时，

该陀螺仪传感器具有：

基部；

第1连接臂和第2连接臂，它们从所述基部起沿着所述第1轴彼此相反地延伸；

第1驱动振动臂，其从所述第1连接臂起沿着所述第2轴延伸；

第2驱动振动臂，其从所述第2连接臂起沿着所述第2轴延伸；以及

第1检测振动臂和第2检测振动臂，它们从所述基部起沿着所述第2轴彼此相反地延伸，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自包含所述第1轴和所述第3轴的方向的振动成分。

由此，能够提供可检测绕相互交叉的2个轴的各个轴的角速度的陀螺仪传感器。

[应用例2]

本发明的陀螺仪传感器的特征在于，在设相互交叉的3个轴为第1轴、第2轴和第3轴时，

该陀螺仪传感器具有：

基部；

第1连接臂和第2连接臂，它们从所述基部起沿着所述第1轴彼此相反地延伸；

第1驱动振动臂，其从所述第1连接臂起沿着所述第2轴延伸；

第2驱动振动臂，其从所述第2连接臂起沿着所述第2轴延伸；

第1检测振动臂和第2检测振动臂，它们从所述基部的一端起在与所述第1轴和所述第2轴双方交叉的方向上延伸，并且在第1轴方向上朝向彼此相反侧延伸；以及

第3检测振动臂和第4检测振动臂，它们从所述基部的另一端起在与所述第1轴和所述第2轴双方交叉的方向上延伸，并且在第1轴方向上朝向彼此相反侧延伸，

所述第1检测振动臂和所述第2检测振动臂与所述第3检测振动臂和所述第4检测振动臂在所述第2轴方向上朝向相反侧延伸，

所述第1驱动振动臂和所述第2驱动振动臂各自包含所述第1轴和所述第3轴的方向的振动成分。

由此，能够提供可检测绕相互交叉的3个轴的各个轴的角速度的陀螺仪传感器。

[应用例3]

在本发明的陀螺仪传感器中，优选的是，该陀螺仪传感器包含：

第5检测振动臂，其位于所述第1检测振动臂与所述第2检测振动臂之间，并且从所述基部的一端起沿着所述第2轴延伸；以及

第6检测振动臂，其位于所述第3检测振动臂与所述第4检测振动臂之间，并且从所述基部的另一端起沿着所述第2轴延伸。

由此，能够提供可检测绕相互交叉的3个轴的各个轴的角速度的陀螺仪传感器。

[应用例4]

在本发明的陀螺仪传感器中，优选的是，所述第1检测振动臂和所述第2检测振动臂与所述第3检测振动臂和所述第4检测振动臂关于由所述第1轴和所述第3轴规定的平面对称地设置，