[发明专利]一种锂二次电池正极薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：所述正极薄膜为无定型或聚多晶欠锂型正极材料，化学式为Li_xMO₂，其中0<x<1，所述方法步骤如下：

（1）制备LiMO₂靶材

将LiMO₂粉末与有机溶剂混和得到浆状物，将浆状物干燥得到粉末，将粉末压制成LiMO₂靶材前躯体，煅烧得到LiMO₂靶材；

（2）制备正极薄膜

在溅射气氛下，对LiMO₂靶材进行磁控溅射，将LiMO₂沉积到集流体基片上，随后在溅射气氛和溅射压强下进行退火处理，得到一种锂二次电池正极薄膜；

步骤（1）中LiMO₂中的M为Co、Ni、Mn、Al、Fe、Cr或Mg中的一种或一种以上；有机溶剂为无水乙醇、乙腈或丙酮中的一种或一种以上；

步骤（2）中溅射气氛为氩气，或氧气与氩气的混合气；退火温度为600～800℃，退火时间为4～8h。

2.根据权利要求1所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）中球磨混合得到浆状物。

3.根据权利要求2所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：：步骤（1）中在流星球磨机中以400rpm的转速球磨4h混合得到浆状物。

4.根据权利要求1所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）中浆状物在80℃下干燥48h。

5.根据权利要求4所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）中浆状物在80℃下于真空干燥箱中干燥48h。

6.根据权利要求1所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）中在箱式炉、管式炉或电炉中于600～900℃煅烧4～8h。

7.根据权利要求1所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中溅射气氛为纯度≥99%的氩气。

8.根据权利要求1所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中氧气与氩气的混合气中，氧气与氩气的体积比为1:9～5:5。

9.根据权利要求1所述的一种锂二次电池正极薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中本底压强≤1.0×10^-5Pa；磁控溅射压强为1～10Pa；磁控溅射功率为40～160W；磁控溅射时间为2～8h；靶材与基片的距离为4～8cm。